SEMI E84 - エンハンストキャリア移載パラレルI/Oインタフェースの仕様 -

Abstract

本スタンダードは，global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年9月4日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2009年10月にwww.semi.orgで，そして2009年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1999年6月発行，前版は2007年11月に発行された。

 

大きなウェーハサイズへの移行によって，将来の半導体工場は広範囲に自動材料搬送システム（AMHS: automated material handling systems）を使用してウェーハキャリアを搬送することになる。これはFOUPおよびオープンカセットなどの重量の増加による。製造装置とAMHSの間のパラレル入出力（PI/O）制御信号は，製造装置ロードポートで，より確実でより効率的なキャリア移載（ロード／アンロード）のために十分に定義されなければならない。

 

この仕様の目的は，SEMI E23に規定されたパラレルI/Oのインタフェースの能力を向上させることであり，これはキャリア搬送の信頼性および効率の向上をサポートするためである。向上される能力が含むものは，連続移載，同時移載，インタフェース上のエラー検出能力である。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 Wafers
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface
SEMI E30 — Generic Model for Communication

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