SEMI E84 - エンハンストキャリア移載パラレルI/Oインタフェースの仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は200994日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。200910月にwww.semi.orgで,そして200911月にCD-ROMで入手可能となる。初版は19996月発行,前版は200711月に発行された。

 

大きなウェーハサイズへの移行によって,将来の半導体工場は広範囲に自動材料搬送システム(AMHS: automated material handling systems)を使用してウェーハキャリアを搬送することになる。これはFOUPおよびオープンカセットなどの重量の増加による。製造装置とAMHSの間のパラレル入出力(PI/O)制御信号は,製造装置ロードポートで,より確実でより効率的なキャリア移載(ロード/アンロード)のために十分に定義されなければならない。

 

この仕様の目的は,SEMI E23に規定されたパラレルI/Oのインタフェースの能力を向上させることであり,これはキャリア搬送の信頼性および効率の向上をサポートするためである。向上される能力が含むものは,連続移載,同時移載,インタフェース上のエラー検出能力である。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 Wafers
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface
SEMI E30 — Generic Model for Communication

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00