SEMI E84 - 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 강화 사양

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

표준은 기술적으로 Global Physical Interfaces & Carriers Committee의해 승인되었으며, 해당버전의 출판은 2009년 9월 4일 Global Audits and Reviews Subcommittee의해 승인되었다. 원본은 1999년 6발행되었고, 이전 버전은 2007년 11월에 출판되었다. 최신본은 2009년 10www.semi.org에서 이용 가능하다.

 

대용량 웨이퍼 사이즈로의 전환으로, 향후 반도체 공장은 무거워진FOUP오픈 카세트(open cassettes)포함하는 웨이퍼 캐리어(carrier)전송하기 위해서 대규모의 자동화된 재료 처리 시스템(AMHS)사용할 것이다. 이에 생산 장비와 AMHS 간의 병렬 입/출력(PI/O) 컨트롤(control) 신호는 생산 장비 로드 포트에서 보다 안정적이고 효율적인 캐리어(carrier) 핸드오프(handoff) (로드/언로드)위해 제정되어야 한다.

 

표준의 목적은 캐리어(carrier) 전송의 신뢰성과 효율성 개선을 위해 SEMI E23에서 정의된 병렬 I/O 인터페이스의 기능을 강화하는 것이다. 향상된 기능에는 연속적인 핸드오프(handoff), 동시 핸드오프(handoff) 및, 인터페이스상의 오류 감지 기능이 포함되어 있다.

 

표준은 능동 장비(예, AGV, RGV 및 OHT 포함된 AMHS 장비)수동 장비(예, 프로세스 계측 장비를 포함하는 생산 설비; 스토커 등) 간의 재료 핸드오프(handoff) 작업과 관련된 통신에 관한 것이며, 해당 범위는 인터베이(interbay) AMHS 능동 장비(즉, 전송 기기를 갖춘 OHS스토커)수동 장비(즉, 전송 기기가 갖추어지지 않은 OHS스토커)까지 확장된다. 표준은 생산 장비와 AMHS 간의 핸드오프(handoff) 캐리어(carrier)사용되는 향상된 병렬 I/O 인터페이스 신호를 나타낸다. Figure 1과 2는 AHMS 장비 유형의 예를 설명한다.

 

향상된 캐리어(carrier) 핸드오프(handoff) 병렬 I/O 인터페이스 표준은 다음을 포함한다:

  • 로드 포트 할당 신호를 포함하는 신호 정의 (¶ 6.1)

  • 캐리어(carrier) 핸드오프(handoff) 시퀀스(sequence) 정의 시간 다이어그램 (¶ 6.2)

  • 오류 표시, 감지 복구 (¶ 6.3 과 ¶ 6.4)

  • 커넥터 유형, 신호 할당 (¶ 6.4)

  • SEMI E15.1정의한 로드 포트에 위치한 인터페이스 센서 단위 사이즈 (300mm 웨이퍼 캐리어(carrier)처리하도록 설계된 시스템에 적용)

 

향상된 캐리어(carrier) 핸드오프(handoff) 병렬 I/O 인터페이스는 능동 장비를 사용하여 수동 장비에서 주고 받는 캐리어(carrier)핸드오프(handoff)컨트롤(controls)한다. 병렬 I/O 인터페이스는 캐리어(carrier)자동화된 핸드오프(handoff) 운영을 컨트롤(controls)한다. 핸드오프(handoff)캐리어(carrier)장비의 부분에서 다른 부분으로 전송되는 작업이다. 능동 수동 장비 모두에서 작업을 관리하며, 공장 수준의 컨트롤러(controller 즉, 호스트)핸드오프(handoff) 운영을 관리하지 않는다. Figure 3문서에서 명시된 병렬 I/O 인터페이스에 대한 어플리케이션을 설명한다.

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 Wafers
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface
SEMI E30 — Generic Model for Communication

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