SEMI E85 - ベイ間搬送システム用AMHSストッカーの共用性に関する仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

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免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年8月29日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年10月にwww.semi.orgで。初版は1999年6月発行,前版は2005年7月に発行された。

 

本仕様が規定するのは,300 mm AMHS装置のインターベイロードポートに関わる寸法の要求条件である。この目的は,異なるタイプのインターベイ装置の中から物理的インタフェースを決めるに必要な形状と寸法のリストを作成し,異なる自動搬送システムを使用できるようにし,工場内にある様々な材料取り扱い要求に応えることである。これのために,ストッカーとインターベイ搬送システム双方が従うべきインタフェースの選択肢を6つ規定すれば足りることになる。規定されたオプションは次のとおり。

オプションA: アクティブ搬送がキャリアをストッカー内部位置に移送する。

オプションB: アクティブ搬送がキャリアをストッカー外部位置に移送する。

オプションC: パッシブ搬送がキャリアをストッカー内部位置に移送する。

オプションD: パッシブ搬送がキャリアをストッカー外部位置に移送する(キネマティックカプリングピンで持ち上げる)。

オプションE: パッシブ搬送がキャリアをストッカー外部位置に移送する(コンベヤフランジで持ち上げる)。

オプションF: パッシブ搬送がキャリアを次の何れかを用いて持ち上げるために,ストッカー外部位置に移送する。(a)キネマティックピン3つすべて,(b)セカンダリキネマティックピン3つすべて,(c)上部ロボティックフランジ。キャリアは,ロード表面に垂直なキャリア前面に向けられる。

 

本スタンダードは,300 mm AMHSインターベイ装置の物理的インタフェースだけをカバーするものである。300 mm AMHSインターベイ装置の同様の要求条件が,SEMI E15.1でカバーされている。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E47.1 — Mechanical Specification for Boxes and Pods Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E57 — Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers
SEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface

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