SEMI E87 - キャリア管理(CMS)のための仕様 -

Member Price: $155.00
Non-Member Price: $203.00

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI E87-0312 - Superseded



本スタンダードは,global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は20111224日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20123月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年月発行。前版は20097月発行。


本スタンダードはSEMI E15.1300 mmロードポートに関するホスト・装置間通信を扱うスタンダードである。


  • AMHS搬送車と製造装置のロードポート間のキャリア受け渡し
  • 製造装置の内部バッファへの,あるいはそこからのキャリアの移動
  • 装置とロードポート群のアクセスモードの切り替え
  • キャリアとロードポートの関連付け
  • キャリアIDの照合およびキャリアスロットマップの照合

Subordinate Document:

SEMI E87.1-0707 - Provisional Specification for SECS-II Protocol for Carrier Management (CMS)

Referenced SEMI Standards

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E62 — Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)
SEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface
SEMI E90 — Specification for Substrate Tracking
SEMI E99 — The Carrier ID Reader/Writer Functional Standard: Specification of Concepts, Behavior, and Services

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