SEMI E87 - キャリア管理(CMS)のための仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は20111224日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20123月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年月発行。前版は20097月発行。

 

本文書は,製造装置間と,存在すればその内部バッファスペースの間でやり取りされる,自動および手動キャリア搬送の調整,実行および完了のホストの観点での通信に対する標準的な挙動を記述するものである。

 

本スタンダードはSEMI E15.1300 mmロードポートに関するホスト・装置間通信を扱うスタンダードである。

 

本文書の範囲は自動およびマニュアルでのキャリア搬送および内部バッファ装置のキャリア搬送についてホストが情報を知り,その役割を果たし易くするスタンダードを定義することである。具体的には下記に関するホスト・装置の相互作用を定義する状態モデルおよびシナリオを提供する:

 

  • AMHS搬送車と製造装置のロードポート間のキャリア受け渡し
  • 製造装置の内部バッファへの,あるいはそこからのキャリアの移動
  • 装置とロードポート群のアクセスモードの切り替え
  • キャリアとロードポートの関連付け
  • キャリアIDの照合およびキャリアスロットマップの照合

 

Subordinate Document:

SEMI E87.1-0707 - Provisional Specification for SECS-II Protocol for Carrier Management (CMS)

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E62 — Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)
SEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface
SEMI E90 — Specification for Substrate Tracking
SEMI E99 — The Carrier ID Reader/Writer Functional Standard: Specification of Concepts, Behavior, and Services

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