SEMI E88 - AMHS保管SEM(ストッカーSEM)の仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012221日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20126月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年発行。前版は20073月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

本スタンダードはAMHSストッカー(ストッカーSEM)のための特定装置モデル(SEM)を規定する。このモデルはSEMI E30の基本的要求条件と選択追加能力に追加した装置特性と動作から成り立っている。本仕様が意図するのは,ストッカーSEM準拠の装置を自動化工場(たとえば,半導体組み立ておよびフラットパネルディスプレイ)へ統合しやすくすることである。本書は,工場自動化コントローラ(ホスト)から見てストッカーSEM準拠の装置の運用モデルを定義することで,これを行うものである。この定義で,標準ホストインタフェースと装置の動作行動(たとえば,制御,状態モデル,データ報告)を提供する。いくつかの項目には本仕様の範囲内の動作に追加することが必要となる。すなわち,待ち行列,キャリア移載のためのパラレルインタフェース[SEMI E23],ストッカー制御アーキテクチャおよび移動ユニットの計画と搬送である。

 

本スタンダードの適用範囲はAMHSストッカー(ストッカー)の使用と説明に限定されるが,これはGEMモデル(§13にて規定している)準拠のSEMI装置通信標準2SECS-II)を通してホストは認識することができる。また,SECS通信リンクを通して装置がどのように見えるか規定しているが,装置の内部動作は規定していない。さらに,このクラスすべての装置の基本として特定搬送コマンド状態モデルおよびSC状態モデルを含んでいる。

 

本スタンダードではGEM基本要求条件と選択追加性能(§13にて規定)がストッカーSEM準拠の装置に組み込まれているものと見なしている。また,GEM標準要求条件と能力を状態モデル(ストッカー制御,搬送コマンド,キャリアおよびストッカークレーン状態モデル),収集,警報文書,リモートコマンド,データ変数項目,および材料搬送の領域にまで拡大している。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E4 — SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)
SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services
SEMI E37.1 — High-Speed SECS Message Services Single Selected-Session Mode (HSMS-SS)
SEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface

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