SEMI E89 - 測定システム分析(MSA)のガイド

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,the Metrics Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は20121220日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20133月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は19999月発行。前版は20077月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

本ガイドの目的は,一連の一貫した用語を提示し,測定システム分析(MSA : measurement system analysis)の計画および実施に対する簡略化した推定的実験的アプローチについて記述することにある。

 

MSAの目標は,製造やラボの環境で使用されることを意図して測定システム(MS)の性能を特性評価することである。

 

MSの偏り,サイズ,およびすべての変動性のソースを正確に特定することにより,そのMSが意図した機能を実行する能力があるかどうかを決定できる。さらに,よく設計されたMSAを使用して最も改善が必要な領域を特定し,定量化できる。

 

本ガイドは,MSの能力の特定の尺度を決定するための手順を記載し,次の項目を含む。

  • 次の項目を含むさまざまな条件における測定の変動性(つまり,繰返し精度)

    • 繰返し精度の影響
    • ロード,アンロード状態
    • 時間

  • 偏りおよび偏りに関連する次の項目を含む

    • 線形性
    • 安定性
    • 適合許容公差

 

本ガイドは,測定精度と許容範囲の比率(P/T)や信号対雑音比(SN比)等の二次的測定基準についても記載する。

 

本ガイドの第一の焦点は,通常の操業状態での自動ウェーハ測定システムの測定能力に関するものであるが,定義や方法は,処理されたダイス,パッケージ化されたデバイス,フラットパネルディスプレイ,部品片等のユニット自動測定に関わるその他の多くの測定状況にも拡張できる。

 

MSAの実行については一般に受け入れられる正しい方法はないが,本ガイドで説明するアプローチは技術資料(§11を参照)によってサポートされ,ISO 5725-2で提示されている方法に一致する。本ガイドに記載されている手順は,MSAを実行するためのアプローチについて記述し,さまざまな用途に対して機能しなければならない基準となる基本的な方法について記載する。特定の環境においては,他の方法が適切であることもある。

 

非システム的(つまりランダムな)誤差のさまざまなソースを分離することを意図した本ガイドの手順は,要因分析および分散分析(ANOVA)に基づいている。本ガイドの第一日の焦点は自動MSの評価であるため,異なるオペレータによって持ち込まれる変動は最小であると予測する。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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