SEMI E90 - 基板トラッキングの仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2007425日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201111月にwww.semiviews.org およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は19999月発行,前版は20077月に発行された。

注意: SEMI E90は,SEMI E90.1の改訂に伴い,1111出版サイクルで更新された。SEMI E90には変更はない。

本スタンダードの目的は製造装置内の基板(製造された製品)のトラッキング装置が実行する標準的なサービスを記すことである。本スタンダードは基板情報管理に関する概念,挙動,およびメッセージ/サービスも定義する。

Subordinate Document:

SEMI E90.1-1111 - SECS-プロトコル基板トラッキングのための仕様

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)


SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)


SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services


SEMI E39.1 — SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS)


SEMI E53 — Event Reporting


SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)



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