SEMI E90 - 基板トラッキングの仕様 -

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免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本スタンダードの目的は製造装置内の基板（製造された製品）のトラッキング装置が実行する標準的なサービスを記すことである。本スタンダードは基板情報管理に関する概念，挙動，およびメッセージ／サービスも定義する。

本質的には基板についての情報はファクトリシステムが管理しなければならず，装置は基板情報管理に関するサービスの提供を要求される。本スタンダードでは装置内の基板情報を管理するための装置サービスに関する要求事項を扱っている。

本スタンダードの範囲はユーザが要求できる装置情報サービスを定義することである。要求されているサービスを明確にするため，基板の概念および挙動，基板ロケーション，バッチとバッチのロケーションが定義されている。

本スタンダードは基板を処理するあらゆる製造装置に適用可能である。サービスを実装するには装置およびファクトリシステムがネットワークで統合されていなければならない。

Subordinate Standard (included):

SEMI E90.1-0312 - Specification for SECS-II Protocol Substrate Tracking

Referenced SEMI Standards (purchase separately)

SEMI E30 — Specification for the Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E39 — Specification for Object Services: Concepts, Behavior, and Services