SEMI E90 - 기판 추적 사양

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

표준은 기술적으로 Global Information & Control Technical Committee의해 승인되었으며, 개정판의 발행은 2011년 12월 24일Audits and Reviews Subcommittee의해 승인되었다. 원본은 1999년에 발행되었으며, 이전 개정판은 2011년에 11월에 발행되었다. 최신본은 www.semiviews.org와 www.semi.org에서 2012년 3월부터 이용 가능하다.

  

표준의 목적은 제조 장비에서 기판(substrate/제조되는 제품)추적하기 위해 장비의 표준 서비스를 제공하는 것이다. 표준은 메시지/서비스뿐만 아니라 기판(substrates)관리 정보에 대한 개념과 동작을 정의한다.

 

기본적으로 장비가 기판(substrate)정보 관리를 위해 서비스를 제공하여야만 하며, 기판(substrate)대한 정보는 공장 시스템에 의해 관리되어야 한다. 표준은 장비에 존재하는 기판(substrate)정보를 관리하는 장비 서비스에 대한 요구사항을 명시한다.

 

표준의 범위는 사용자가 요청할 있는 장비의 서비스 정보를 정의하는 것이다. 요청된 서비스를 명확하게 하기 위해, 기판(substrate)개념과 동작, 기판(substrate)위치, 배치(batch)배치(batch)위치가 정의된다.

 

표준은 기판(substrate)다루는 제조 장비에서 적용 가능하며, 이러한 서비스의 실행을 위해 장비와 공장 시스템은 어떠한 방법을 통해서든지 통신 연결을 통해 통합되어야 한다.

 

Subordinate Document:

SEMI E90.1-0312 - Specification for SECS-II Protocol Substrate Tracking

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)


SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)


SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services


SEMI E39.1 — SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS)


SEMI E53 — Event Reporting


SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)



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