SEMI E91 - プローバ独自の装置モデル(PSEM)に関する仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は200994日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。200910月にwww.semi.orgで,そして200911月にCD-ROMで入手可能となる。初版は19999月発行,前版は20006月に発行された。

 

本文書はプローバ装置のための独自の装置モデル(PSEM)を記すものである。PSEMはこのクラスの装置に適用される装置特性および装置ビヘイビアで構成され,SEMI E30GEM)に規定されている基本的要求条件および追加性能に加えて実装するよう要求されている。本文書の目的はプローバ装置を自動化された半導体工場に容易に統合できるようにすることである。そのために本文書ではファクトリオートメーションコントローラの観点から見たプローバモデルのオペレーションモデルを定義している。この定義によってスタンダードなホストインタフェースおよび装置のオペレーションに関するビヘイビアが提供されている。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM)
SEMI M20 — Specification for Establishing a Wafer Coordinate System
SEMI M21 — Specification for Assigning Addresses to Rectangular Elements in a Cartesian Array

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