SEMI E94 - コントロールジョブ管理(CJM)の仕様 -
Abstract
本スタンダードは,the Information & Control Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2013年6月4日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2013年7月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年2月発行。前版は2012年3月発行。
この仕様は高度に自動化された工場においてサービスを提供する装置について記述する。このサービスは製造装置における材料プロセスおよび処理をコントロールする能力をホストに提供する。
この仕様はSEMI E30(GEM)に適合する装置に適用できる。
Subordinate Document:
SEMI E94.1-0312 - Specification for SECS-II Protocol for Control Job Management (CJM)
Referenced SEMI Standards
SEMI E5—SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E30— Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E39.1— SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS)
SEMI E40— Standard for Processing Management
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