SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル(OBEM)暫定スタンダード

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

Notice: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項:このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。


注意:SEMI E98は,SEMI E98.1の改訂を反映して,0309の出版サイクルで更新された。


オブジェクトベース装置モデル(OBEM)の目的は,次の事項を含む:

  • 多重プロセス装置および他の複合装置へのインタフェースについての標準モデルを定義する

  • 通信がコンポーネントに関する事項を「検討」できるように,標準装置を定義する。

  • 装置モデルが,OBEM適合装置を機械オブジェクトに接続することにより,SEMI E81 CIM構成システムに容易に統合できるように対応する。


オブジェクトベース装置モデル(OBEM)スタンダードの目的は,装置自体を含み,通常,装置を構成する物理的および論理的オブジェクトの共通に見られるタイプの定義,サービス,および挙動を,ファクトリとの通信の際に見られる通りに提供することである。スタンダード化されたオブジェクトの定義を使って装置はその構成を工場側に対して開示でき,工場側は装置の内部が見えるようになる。


本規定は暫定スタンダードであり,半導体工場内の製造装置の統合を実現するための概念,挙動,およびサービスを定義するものである。本スタンダードの範囲には工場ホストシステムへのインタフェースを提供する半導体製造装置,すべてが含まれる。サービスによっては材料搬送系に適用できない場合もある。


OBEM仕様を暫定版でなくするためには,以下の項目を完成しなければならない。

  1. § 11.2 — アクセス管理

  2. § 14 — OBEMへの準拠

詳細なスタンダードも将来追加する予定で,SECS-IICORBA IDLおよびDCOMのような異なる製品に対するOBEMマッピングを規定する。


Subordinate Standard:

SEMI E98.1-1102 (Reapproved 0309) - オブジェクト基盤装置モデルのためのSECS-II プロトコル用暫定仕様


Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E10 — Standard for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM)
SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Provisional Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E40 — Standard for Processing Management
SEMI E41 — Exception Management (EM) Standard
SEMI E42 — Recipe Management Standard: Concepts, Behavior, and Message Services
SEMI E53 — Event Reporting
SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard
SEMI E58 — Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services
SEMI E81 — Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture
SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)
SEMI E90 — Specification for Substrate Tracking
SEMI E94 — Specification for Control Job Management

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