E09900 - SEMI E99 - キャリアIDリーダ/ライタ機能スタンダード:コンセプト,挙動,およびサービスに関する仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware / Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract


NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

キャリアIDリーダ/ライタ機能スタンダード作業の目的はキャリアIDリーダおよびキャリアIDリーダ/ライタが上位コントローラに提供するコンセプト,挙動,およびサービス(機能)に関する共通仕様を提供することである。スタンダードインタフェースはキャリアIDリーダ/ライタの互換性を上げるので,ユーザおよび装置サプライヤの選択の範囲が広がることになる。


キャリアIDリーダ/ライタインタフェーススタンダードは上位コントローラを持っている包括的なキャリアIDリーダ/ライタインタフェースに関する機能的な要求条件を扱う。

 

本仕様にはキャリアIDリーダおよびキャリアIDリーダ/ライタの両方に要求される挙動および通信が含まれる。

 

本仕様ではキャリアIDリーダあるいはリーダ/ライタが送信する非同期メッセージを要求,定義,あるいは禁止しない。

 

Subordinate Standards (included)

SEMI E99-1104 (Reapproved 0710) — キャリアIDリーダ/ライタ機能スタンダードのためのSECS-IおよびSECS-IIプロトコル仕様

 

Referenced SEMI Standards (purchase separately)

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services

SEMI E47.1 — Mechanical Specification for Boxes and Pods Used to Transport and Store 300 mm Wafers

SEMI E62 — Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)

SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)

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