SEMI E99 - キャリアIDリーダ/ライタ機能スタンダード:コンセプト,挙動,およびサービスに関する仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware / Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,Global Information and Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2010521日,Global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は20002月発行,前版は200411月発行。

 

キャリアIDリーダ/ライタ機能スタンダード作業の目的はキャリアIDリーダおよびキャリアIDリーダ/ライタが上位コントローラに提供するコンセプト,挙動,およびサービス(機能)に関する共通仕様を提供することである。スタンダードインタフェースはキャリアIDリーダ/ライタの互換性を上げるので,ユーザおよび装置サプライヤの選択の範囲が広がることになる。

 

キャリアIDリーダ/ライタインタフェーススタンダードは上位コントローラを持っている包括的なキャリアIDリーダ/ライタインタフェースに関する機能的な要求条件を扱う。

 

本仕様にはキャリアIDリーダおよびキャリアIDリーダ/ライタの両方に要求される挙動および通信が含まれる。

 

本仕様ではキャリアIDリーダあるいはリーダ/ライタが送信する非同期メッセージを要求,定義,あるいは禁止しない。

 

Subordinate Document:

SEMI E99.1-1104 (Reapproved 0710) - CIMフレームワークマテリアル搬送・格納コンポーネントに関する暫定仕様

 

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E4 — SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)
SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E47.1 — Mechanical Specification for FOUPS Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E62 — Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)
SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00