SEMI E99 - キャリアIDリーダ／ライタ機能スタンダード：コンセプト，挙動，およびサービスに関する仕様 -

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キャリアIDリーダ／ライタ機能スタンダード作業の目的はキャリアIDリーダおよびキャリアIDリーダ／ライタが上位コントローラに提供するコンセプト，挙動，およびサービス（機能）に関する共通仕様を提供することである。スタンダードインタフェースはキャリアIDリーダ／ライタの互換性を上げるので，ユーザおよび装置サプライヤの選択の範囲が広がることになる。

キャリアIDリーダ／ライタインタフェーススタンダードは上位コントローラを持っている包括的なキャリアIDリーダ／ライタインタフェースに関する機能的な要求条件を扱う。

本仕様にはキャリアIDリーダおよびキャリアIDリーダ／ライタの両方に要求される挙動および通信が含まれる。

本仕様ではキャリアIDリーダあるいはリーダ／ライタが送信する非同期メッセージを要求，定義，あるいは禁止しない。

Subordinate Standards (included)

SEMI E99-1104 (Reapproved 0710) — キャリアIDリーダ／ライタ機能スタンダードのためのSECS-IおよびSECS-IIプロトコル仕様

Referenced SEMI Standards (purchase separately)

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services

SEMI E47.1 — Mechanical Specification for Boxes and Pods Used to Transport and Store 300 mm Wafers

SEMI E62 — Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)

SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)