E10100 - SEMI E101 - EFEM機能構造モデルのガイド

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,Global Physical Interfaces and Carriers Committee技術的に承認されている。現版は2010430日,Global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は20002月発行,前版は200411月発行。


300 mm世代の半導体工場において,生産性の向上は最優先すべき課題であり,これを実現するためにはコンピュータを組み込んだ製造技術または工場自動化(CIM/FA: computer-integrated manufacturing or factory automation)技術がますます重要となってきている。少ない費用で短期間にCIM/FAインフラストラクチャを装備するためには,かかる技術の標準化も必要である。各スタンダードは広範囲の生産設備,通信機器およびソフトウェア装置を網羅する必要があるため,各スタンダードには高度の互換性を持たせることが非常に重要である。機能を向上させるため,本ガイドが,工場のマテリアルハンドリングシステムと製造装置間のインタフェースにおいてキャリアおよび基板の搬送処理を行う装置フロントエンドモジュール(EFEM: Equipment Front End Module)の機能構造モデルを示す。


Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E19 — Standard Mechanical Interface (SMIF)
SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface
SEMI E47.1 — Mechanical Specification for FOUPS Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E57 — Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers
SEMI E64 — Specification for 300 mm Cart to SEMI E15.1 Docking Interface Port
SEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface

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