SEMI E102 - CIMフレームワークマテリアル搬送・格納コンポーネントに関する暫定仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本暫定使用は,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommittee2006516日に発行が承認された。20066月にwww.semi.orgで,そして20067月にCD-ROMで入手可能となる。初版は20006月発行。

 

半導体製造工場では,ストッカ格納および工程間搬送に高い基本性能が必要である。この基本性能に加えて,300 mmウェーハキャリアのサイズが大きくなったことおよびその重量が増大したことで必要となった人間工学的および安全要求事項を考慮すると,工程内搬送が必要となる。製造装置へ,また製造装置からの材料搬送の完全自動化を経済的に実現するため,これらストッカ,工程間搬送および工程内搬送システムは,お互いに,そしてまた,その工場の"製造管理システム(MES"と完全に統合する必要がある。

 

自動マテリアルハンドリングシステム(AMHS)装置の基本的要求事項は,工場MESとの効率的な統合である。そのため,本スタンダードの目的は,図1に示しているとおり,相互運用性を持つAMHSシステムを経済的に統合できるようにすることである。メーカーは,AMHS統合システムの目に見える動作および工場MESとのインタフェースを規定するSEMIスタンダードを求めている。本スタンダードの目的は,これらインタフェースおよびCIMフレームワークの一部としてMESAMHSシステム間の連係を規定することである。AMHSという言葉は自動マテリアルハンドリングをサポートする装置およびシステムを幅広く指すものとして一般的に使われているが,CIMフレームワークは,AMHS性能一揃いに対するMESのスタンダードインタフェースを表すマテリアル搬送・格納コンポーネント(MTSC)と呼ぶソフトウェアコンポーネントを規定する。

 

本スタンダードは,(他のCIMフレームワークコンポーネントで代表される)工場とマテリアルトラッキング・格納コンポーネント間での実行時の相互連係に対して,製造管理システム(MES)が必要とする共通インタフェースを提供する。マテリアル搬送および格納装置の構造とトラッキングを支援するインタフェースの一部は,CIMフレームワークの装置トラッキング・メンテナンスコンポーネントが担当する。それらインタフェースは,本スタンダードに記述した搬送マシンおよび格納マシンのインタフェースを補間する。

 

マテリアル搬送・格納コンポーネントの範囲には,下記のインタフェースが含まれる。

  • 特定場所へのマテリアル搬送に要する時間を予測して,マテリアル搬送のスケジューリングおよび処理を支援する。注:配送時間予測のためのインタフェースは,本暫定スタンンダードに注記したように,まだ決定していない部分として今後の活動を必要としている。

  • マテリアルを特定の場所に移動する搬送ジョブを実行し,監視する。

  • ジョブが実行可能かどうか検証する:マテリアルは存在するか,目的地に到達可能か,格納あるいはロードポート容量が使用可能かおよびジョブを実行するのに必要なマテリアル移動リソース(車,保管スペースなど)は十分であるか。

  • 内部マテリアル移動および格納を実行するため,AMHS装置コントローラに作動要求を行う。マテリアル搬送・格納コンポーネントを実行するには,物理的移動および格納動作を行う装置との間の通信にIBSEMおよびストッカSEMなどの低レベルのスタンダードを使用する。

  • 搬送ジョブの実行および履歴についてのデータを収集し,記録する。

  • 装置のイベントおよび故障検出を捕捉,記録,解釈および応答をする。

  • MESレベルのジョブステータスイベントおよびマテリアル場所変更イベントを発生させる。

  • システム中にあるマテリアルについてその所在位置およびその搬送履歴を記録し報告する。

  • マテリアルのハンドオフ,ハンドシェイクプロトコルに対するマシンおよびポートインタフェースと連係する。

 

自動マテリアルハンドリングシステム(AMHS)は,どの半導体工場でも重要な部分であり,通常実施されていて,別個の論理ソフトウェア要素として製造管理システム(MES)と統合されている。AMHSは,AMHSフレームワーク,AMHS装置のためのシステムコントローラ(ソフトウェア)および搬送,格納マシン(ハードウェア)で構成されている。この伝統に従って,CIMフレームワークは,AMHSを「ブラックボックス」とみなす。このシステムへのインタフェースは目に見えるが,そのシステム内部の動きやコントロールはAMHSサプライヤの責任であって,MESの領域ではない。CIMフレームワークでは,マテリアル搬送・格納コンポーネント(MTSC)をMESレベルでのAMHS機能とのインタフェースと規定している。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E81 — Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture

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