SEMI E105 - CIMフレームワークスケジューリングコンポーネントのための暫定仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本仕様は,Global Information & Control Committeeで技術的に承認されたもので,North American Information & Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は200121日に日本地区スタンダード委員会にて承認された。20014月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,20017月発行に至る。初版は20009月発行。

 

スケジューリングコンポーネントは装置上の材料の処理,材料の移動,および装置の維持管理を行うジョブの指令をタイミングよく出すことによって,ファクトリオペレーションコンポーネント,材料搬送・保管コンポーネント,製造マシンコンポーネント,および装置トラッキング・メンテナンスコンポーネントをサポートする。スケジューラは製品の需要,装置および材料の状態,プロセスフロー,スループットのボトルネック,オペレーションポリシーおよび制約条件,その他の情報についての知識を使って,製品の需要を満たし計画された目標を達成するために,工場リソースを最大限効果的に利用するようなジョブを推奨する。

 

オペレーションに対するコントロール量が増加しているため,工場のイベントおよび状態変化に対応でき,材料処理,材料搬送および装置メンテナンスに関するスケジュールを動的に調整できるアクティブなスケジューリングコンポーネントが必要とされている。スケジューリングコンポーネントは,待ち行列のサイズを最小限に抑え,かつ,WIPインベントリレベルを希望レベルに保ってボトルネックの装置を最大限効率よく使用できるようにするために,プライオリティを調節して,工場にある材料のインベントリレベルに反応することができる。

 

スケジューリングコンポーネントは装置のアイドルタイムを減らすため,(サブストレートおよび耐久材に関する)材料搬送と処理を調整することによって所用時間(TAT)を最小限に抑えることができる。スケジューリングコンポーネントはセットアップタイムを最小限にするように活動を並べることができる。予定された装置ダウンタイムおよび予定外の装置ダウンタイムに対応して所用時間への影響を最小限にすることもできる。TAT全体を最小限に抑えるだけでなく,緊急ロットのプライオリティに対応するため,緊急ロットを可能な限り短い時間でプロセスフロー内を移動させ,それによって影響を受けるプライオリティの低いロットのスケジューリングを調整することもできる。

ランタイム時におけるスケジューリングコンポーネントの主な仕事は,リソースおよび材料の状態をモニターし,スケジューリング決定メカニズムおよびディスパッチング決定メカニズムを使って,工場リソースの次の活動を決めること(ディスパッチング)あるいは活動シーケンスを決めること(スケジューリング)である。スケジューリングコンポーネントにはスケジューリングおよびディスパッチングの両方をサポートするインタフェースがある。図1にはスケジューリングコンポーネントとCIMフレームワークの他のコンポーネントとの相互作用が描かれている。その図にはスケジューリングコンポーネントに工場リソースの現在状態を知らせるのに必要な数多くの情報が全部記されているわけではない。

 

本スタンダードに記されている通り,スケジューリングコンポーネントは活動オプションリストおよび活動予測リストを作る。そのリストは工場モデルおよび他のコンポーネントからの状態情報とスケジューリングコンポーネントのスケジューリングポリシーを組み合わせて作られる。例えば,スケジューリングコンポーネントは製品をどのように作るかということについて仕様コンポーネントから得たデータと装置コンポーネントおよび製品管理コンポーネントから得た状態データを組み合わせて,マシンの活動オプションを提供する。

 

ファクトリオペレーションコンポーネントはスケジューリングコンポーネントのサービスを使ってマシンおよびロット製造管理をまとめあげる。例えば,ある装置が使用可能になったら,ファクトリオペレーションは活動オプションリストを使って,その装置で次に処理するロットを選ぶ。その後ファクトリオペレーションは他のコンポーネントと協力してマシンでそのロットの製造ジョブを実行する。製造ジョブを実行すると他のコンポーネントのロットの状態および装置の状態が変わる。こういった状態の変化はその後スケジューリングコンポーネントが新しい活動リストを作る際に利用される。

 

スケジューリングマネジャは「この材料あるいはリソースを次にどうするのか?」といった質問に対する答を提供してファクトリオペレーションをサポートする。その時点でのあるいは将来の制約および目標に対する評価を基にした答になる場合もある。ディスパッチャのアウトプットはターゲットリソースの次の活動に関する決定という形をとるが,インタフェースは決定を下すもとになるプライオリティ付き活動リストを提供して,マニュアルでのシナリオもサポートできる。

 

スケジューリングマネジャのインタフェースは次の活動の後に予定されている活動に関する予測も提供する。予測される将来の活動のシーケンスおよび実行タイミングをシミュレーションすることによって,スケジューラは今後出される要求に対するディスパッチャの応答を予言する予測を作成することができる。工場条件が変わると予測も変わるが,その予測は将来の活動決定に関して,その時点で最良の予測である。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E81 — Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture

SEMI E97 — Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces

SEMI E102 — Provisional Specification for CIM Framework Material Transport and Storage Component

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