SEMI E107 - 歩留まり管理システムに電気的不良データを渡すためのデータフォーマット

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,Information & Control Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年5月21日,Global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年3月発行,前版は2001年11月発行。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本文書の目的は, テスト装置から歩留り管理システムに,特定のデータを渡すためのフォーマットの標準化である。歩留り管理システムは,データサーバの一種であり,ベアウェーハやパターン付きウェーハの欠陥データを管理するシステムである。

 

本文書では歩留まり管理システムにおいて,試験装置の電気的故障情報が総合して管理,分析されるものと考えている。試験装置の故障情報の例として,ビットマップデータ, ビンデータおよびウェーハ検査装置やレビュー装置などの装置で得た検査情報を含む。このデータファイルフォーマットの標準化は, 顧客や関連企業の開発負担を減らすことになる。

 

本文書は, テスト装置から歩留り管理システムに渡すためのデータファイルフォーマットを規定する。

 

本文書はマップデータアイテムスタンダードSEMI G81と,現在開発中であるマップデータフォーマットドキュメントの拡張である。本文書は一般的仕様を再定義しているものではない。

 

本文書の範囲はデータアイテムおよびそれらのフォーマットだけを定義している。 データファイル生成方法,環境の構築,ファイル名の付け方等は,本文書の範囲外である。さらに, データを転送するコミュニケーションプロトコルも本文書の範囲外である。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communication Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E30.1 — Inspection and Review Specific Equipment Model (ISEM)
SEMI G81 — Specification for Map Data Items
SEMI G85 — Specification for Map Data Format

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00