SEMI E109 - レチクルおよびポッド管理に関する仕様(RPMS)

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本仕様は,Global Information & Control Committeeで技術的に承認されたもので,North American Information & Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年12月10日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認されている。2005年2月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2005年3月発行に至る。初版は2001年7月に発行。前版は2004年11月発行。

 

本文書はリソグラフィ装置,レチクル検査装置,およびベアレチクルストッカー装置のスタンダード化された挙動を規定する。リソグラフィ装置,レチクル検査装置,およびベアレチクルストッカー装置とのスタンダード化された通信も規定する。これには装置間での自動およびマニュアルレチクルポッド搬送,レチクルポッドへ/からのレチクル搬送,装置内でのレチクルの移動,レチクルポッドおよびレチクル双方の識別および検証,レチクルの検査および認証,およびレチクル使用度のトラッキングなどその他の関連情報,以上の調整,実行,および完了などが含まれる。

 

本文書はレチクルを扱う装置でのホスト・装置間通信に関する暫定スタンダードである。装置にはレチクルポッドの内外でレチクルを扱う装置だけが含まれる。

 

本文書の範囲は自動およびマニュアルのレチクルポッド搬送,レチクルポッドへ/からのレチクル搬送,装置内でのレチクルの移動,ReticleIDの識別および検証,レチクルの検査および認証,およびレチクル使用度のトラッキングについてホストが情報を得てその役割を果たすのを容易にするようなスタンダードを定義することである。具体的にいうと,本文書では下記に関するホストと装置の相互作用を定義する状態モデルおよびシナリオを規定している:

  • AMHSビークルと,製造装置,ベアレチクルストッカー,およびレチクル検査装置レチクルロードポートの間でのレチクルポッド搬送。

  • リソグラフィ装置内部のレチクルライブラリスペースへの/からのレチクル搬送。

  • 装置およびレチクルロードポートアクセスモードの切り替え

  • レチクルポッドとロードポートとの関連付け。

  • レチクルポッドIDの検証およびレチクルポッドスロットマップの検証。

Subordinate Document:

SEMI E109.1-0704 - レチクルおよびPOD管理(RPMS)に対するSEC-IIプロトコルの暫定仕様

 

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E15 — Specification for Tool Load port

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM)

SEMI E39 — Object Services Standard: Concept, Behavior, and Services

SEMI E39.1 — SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS)

SEMI E41 — Exception Management (EM) Standard

SEMI E53 — Event Reporting

SEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O interface

SEMI E99 — Carrier ID Read/Write Functional Standard

SEMI E100 — Specification for a Reticle SMIF Pod (RSP) Used to Transport and Store 6 inch or 230 mm Reticles

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