SEMI E116 - 装置性能トラッキング(EPT)のための仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware / Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2007425日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20076月にwww.semi.orgで,そして20077月にCD-ROMで入手可能となる。初版は20027月発行,前版は20067月に発行された。

 

E 本文書は20079月に,誤字を訂正するため,編集上の修正がなされた。変更箇所は,表R1-13である。

 

この資料は,生産装置の基本的な性能のトラッキングを実行するための仕様について記述する。この資料の規定により,ホストコンピュータは,オペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法で装置の基本的な性能をトラッキングできる。この資料は,装置サプライヤが次の事項を実行するための仕様について記述する。

  • 装置の基本的な状態をトラッキングすること (オペレータやホスト入力は不要)。

  • 主要なモジュールおよび装置全体の両方について,モジュラ式に装置の基本的な状態をトラッキングすること。

  • モジュールと装置の両方のレベルで,装置の基本的な状態の変化をホストコンピュータにレポートすること。

  • モジュールと装置の両方のレベルで,装置がその状態にある時間をホストコンピュータにレポートすること。

  • モジュールと装置の両方のレベルで,装置がタスクを実行できないようにブロックされている理由をホストコンピュータにレポートすること。

 

装置のユーザは,ユーザの入力に依存せずに装置性能をトラッキングし,ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に起因する不正確さをなくす必要がある。ユーザ入力なしで装置性能をトラッキングすることは,運転のシナリオにおいて手動介入を最小限にする必要がある300mmウェーハの工場では重要である。EPTは,ホストコンピュータがオペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法で装置の性能をトラッキングするために必要な装置データを取得できるようにする概念,動作,メッセージサービスを定義する。

 

EPTにより,工場の管理者は,ユーザ入力に依存せずに,装置およびモジュール(プロセスチャンバなど)の両方のレベルで工場の装置の現状態を特定できる。EPTにより,工場の技術者は,さまざまな状態において装置とモジュールによって消費された時間を評価し,改善の対象となる領域を特定できる。EPTにより,工場の技術者は,装置やモジュールの動作が妨げられている理由を装置から直接取得できる。EPTにより,工業技術者は,装置のデータを製造実行システム(MES: Manufacturing Execution System)からの外部データと組み合わせると,装置レベルとモジュールレベルでSEMI E10の状態およびSEMI E79の測定基準を正確に計算できる。EPTにより,自動化技術者は,標準化された収集イベントおよび装置の状態データを取得するためのデータ変数を使用して再使用可能なホストインターフェイスを開発できる。

 

このスタンダードの範囲は,装置の動作状態および生産装置の基本的な装置性能をトラッキングするために必要なデータを定義することである。これらの要件は,ホストやオペレータの入力なしに,装置レベルとモジュールレベルでのトラッキングを容易にし,かつホストに状態情報を伝達してシンプルな装置性能のトラッキングを実行することを目的とする。

 

具体的には,この資料は次の項目について記述する。

  • 状態変化のトリガーを定義する装置性能トラッキング(EPT: Equipment Performance Tracking)状態モデル

  • 基本的な装置性能データをホストコンピュータに伝達するために必要なデータ変数の仕様

  • 基本的な装置性能データをホストコンピュータに伝達するために使用されるイベントメッセージの仕様

  • EPT準拠の要件

 

このスタンダードでは,ホストコンピュータがオペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法で装置の性能をトラッキングするために必要な装置データを取得できるようにする概念,動作,メッセージサービスを指定する。装置からホストコンピュータへのSEMI E10の状態のレポートではユーザ入力が必要であり,すでにSEMI E58によって指定されているので,これについては指定しない。

 

このスタンダードは,SEMI E58とは矛盾せず,装置がSEMI E58によるSEMI E10の状態をレポートすることを妨げるものではない。

 

このスタンダードは,SEMI E10およびSEMI E79の測定基準に必要な正確な装置情報をオペレータやホストの入力に依存せずに提供し,ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に起因する不正確さをなくす,SEMI E10およびSEMI E79のための基礎的要素である。EPTは,装置性能トラッキングのモジュラアプローチを提供することによってSEMI E10およびSEMI E79の両方を支援し,装置の主要モジュールの状態によって装置の状態を決定できる。EPTは,装置やモジュールの現在の動作についてタスクレベルの詳細情報を提供することによってSEMI E79を支援し,性能測定基準をタスクレベルでトラッキングできる。

 

Subordinate Document:

SEMI E116.1-0707 - 装置性能トラッキング(EPT)のSECS-II プロトコル仕様

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E10 — Specification for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM)

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services

SEMI E58 — Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services

SEMI E79 — Standard for Definition and Measurement of Equipment Productivity

SEMI E90 — Specification for Substrate Tracking

SEMI E98 — Provisional Standard for the Object-Based Equipment Model (OBEM)

SEMI E101 — Provisional Guide for EFEM Functional Structure Model

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