SEMI E117 - レチクルロードポートの仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Physical Interfaces and Carriers Committee技術的に承認されている。現版は2010430日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は200211月発行,前版は200411月発行。

 

この仕様は,レチクルストッカー,リソグラフィー露光機器,レチクル検査装置のレチクルロードポートの寸法の要求条件およびオプションを定義する。装置と工場間の物理インタフェースの共通化を促進し,自動化されたRSP搬送システムを使いやすくし,手動ロード装置の人間工学的要求条件を満たすことを目的とする。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E19.3 — Standard Mechanical Interface (SMIF), Specification for 150 mm (6 inch) Port
SEMI E19.4 — 200 mm Standard Mechanical Interface (SMIF)
SEMI E72 — Specification and Guide for 300 mm Equipment Footprint, Height, and Weight
SEMI E100 — Specification for a Reticle SMIF Pod (RSP) Used to Transport and Store 6 inch or 230 mm Reticles
SEMI E111 — Mechanical Specification for a 150mm Reticle SMIF Pod (RSP150) Used to Transport and Store a 6 Inch Reticle
SEMI E112 — Mechanical Specification for a 150 mm Multiple Reticle SMIF Pod (MRSP150) Used to Transport and Store 6 Inch Reticles

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00