SEMI E117 - レチクルロードポートの仕様 -

Abstract

本スタンダードは，global Physical Interfaces and Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2002年11月発行，前版は2004年11月発行。

 

この仕様は，レチクルストッカー，リソグラフィー露光機器，レチクル検査装置のレチクルロードポートの寸法の要求条件およびオプションを定義する。装置と工場間の物理インタフェースの共通化を促進し，自動化されたRSP搬送システムを使いやすくし，手動ロード装置の人間工学的要求条件を満たすことを目的とする。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E19.3 — Standard Mechanical Interface (SMIF), Specification for 150 mm (6 inch) Port
SEMI E19.4 — 200 mm Standard Mechanical Interface (SMIF)
SEMI E72 — Specification and Guide for 300 mm Equipment Footprint, Height, and Weight
SEMI E100 — Specification for a Reticle SMIF Pod (RSP) Used to Transport and Store 6 inch or 230 mm Reticles
SEMI E111 — Mechanical Specification for a 150mm Reticle SMIF Pod (RSP150) Used to Transport and Store a 6 Inch Reticle
SEMI E112 — Mechanical Specification for a 150 mm Multiple Reticle SMIF Pod (MRSP150) Used to Transport and Store 6 Inch Reticles

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