SEMI E118 - ウェーハIDリーダ通信インタフェースの仕様 — ウェーハIDリーダの機能スタンダード: 概念,動作,サービス

Volume(s): Equipment Automation Hardware / Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本仕様は,Global Information and Control Committeeにおいて技術的に承認されたものであり,Japan Information and Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は2002719日にJapan Regional Standards Committeeにて承認されている。200210月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,200211月発行に至る。

E 本スタンダードは20052月に図R2-1に対する編集上の修正が加えられた。

 

注意:SEMI E118200411月にサブドキュメントSEMI E118.1が改訂されたため改訂年月が更新された。

 

ウェーハIDリーダの機能スタンダードの目的は,概念,動作,ウェーハIDリーダによって上位のコントローラに提供されるサービス(機能)について共通の仕様を提供することである。

 

スタンダードのインタフェースにより,ユーザー及び装置サプライヤが広範囲の選択肢を持てるように,ウェーハIDリーダの相互交換性を向上させる。

 

ウェーハIDリーダの機能スタンダードは,ウェーハIDリーダと上位のコントローラとの包括的インタフェースに対する機能要求条件を扱う。

 

本仕様には,ウェーハIDリーダに必要な動作と必要な通信機能が含まれる。

 

この仕様では,ウェーハIDリーダによって送信される非同期メッセージは要件でもなく,定義することも禁止することもしない。

 

本仕様は,SEMIによって規定され,ウェーハの搬入,搬出がキャリアユニットによって実行される装置内でアクセスされるウェーハIDを読み出すことを目的とする。

 

Subordinate Standard:

SEMI E118.1-1104 - ウェーハIDリーダ通信インタフェーススタンダードのSECS-I,SECS-II プロトコル仕様

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E4 — SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services

SEMI E47.1 — Provisional Mechanical Specification for Boxes and Pods Used to Transport and Store 300 mm Wafers

SEMI E62 — Provisional Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)

SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)

SEMI E90 — Specification for Substrate Tracking

SEMI E99 — The Carrier ID Reader/Writer Functional Standard: Specification of Concepts, Behaviors, and Services

SEMI E101 — Provisional Guide for EFEM Functional Structure Model

SEMI T7 — Specification for Back Surface Marking of Double-Side Polished Wafers With a Two-Dimensional Matrix Code Symbol

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