SEMI E119 - 300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス(FOBIT)の機械仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Physical Interfaces & Carriers Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は20111224日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20125月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は200211月発行。前版は20067月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

本スタンダードは,300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス(FOBIT: front-opening box for interfactory transport)について部分的に規定する。ウェーハを25枚収納できるが,物理容積が13枚ウェーハのFOUPとほぼ同じであるこの狭ピッチのボックスは,IC生産工場間のウェーハ輸送コストを低減することを目的とする。業界の現在の300 mm技術を活用するために,この狭ピッチのフロントオープニングボックスは,SEMI E62で規定されている13枚ウェーハ用のFIMSとインタフェースするものとする。

 

本スタンダードが意図しているのは,すべてのメカニカルインタフェースにおいて,モジュール性と互換性を確保しながら,技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。FOBITに対するメカニカルインタフェースだけが規定されており,材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。しかしながら,金属製や射出成型プラスチック製のFOBITの両方がスタンダードに準拠して製造できるように,本スタンダードは作成されている。

 

本スタンダードは,FOBITが工場間のウェーハ輸送に使用されることを前提とする。次の境界条件の下でこの仕様が作成された。

  • ウェーハ間のピッチを小さくするとウェーハ輸送コストが低減される。
  • FOBITは,処理済および未処理の両方のウェーハの工場間輸送に使用される。
  • ボックスの容量はウェーハ25枚である。
  • エッジグリップハンドリングデバイスを使用したウェーハへのランダムアクセスは,本スタンダードの要求事項ではない。
  • FOBITは,次の300 mmのスタンダードと互換性がある。
  • 13枚ウェーハのFIMSインタフェース (SEMI E62
  • 300 mmロードポート (SEMI E15.1
  • キネマティックカプリング(SEMI E57
  • FOBITは,輸送中のウェーハの制約条件および製品のアプリケーションにより,必ずしも次の300 mmスタンダードに従う必要はない。
  • 300 mmフロントオープニングユニファイドポッド(FOUP) (SEMI E47.1
  • 300 mmオープンカセット (SEMI E1.9
  • 300 mmフロントオープニングシッピングボックス(FOSB) (SEMI M31
  • 本スタンダードの技術的要求事項は,SEMI M1.15で規定される公称厚さのウェーハの輸送について記述された。

 

この狭ピッチの容量25枚のFOBITは,SEMI E62で規定されている13枚ウェーハのFIMSインタフェースで使用されるように設計される。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E47.1 — Mechanical Specification for Boxes and Pods Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E57 — Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers
SEMI E62 — Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)
SEMI M1 — Specification for Polished Single Crystal Silicon Wafers
SEMI M31 — Mechanical Specification for Front-Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 300 mm Wafers
SEMI S8 — Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment

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