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SEMI E119 - 300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT）の機械仕様 -
Abstract
本スタンダードは，global Physical Interfaces & Carriers Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年5月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2002年11月発行。前版は2006年7月発行。
注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。
本スタンダードは，300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT: front-opening box for interfactory transport）について部分的に規定する。ウェーハを25枚収納できるが，物理容積が13枚ウェーハのFOUPとほぼ同じであるこの狭ピッチのボックスは，IC生産工場間のウェーハ輸送コストを低減することを目的とする。業界の現在の300 mm技術を活用するために，この狭ピッチのフロントオープニングボックスは，SEMI E62で規定されている13枚ウェーハ用のFIMSとインタフェースするものとする。
本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。FOBITに対するメカニカルインタフェースだけが規定されており，材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。しかしながら，金属製や射出成型プラスチック製のFOBITの両方がスタンダードに準拠して製造できるように，本スタンダードは作成されている。
本スタンダードは，FOBITが工場間のウェーハ輸送に使用されることを前提とする。次の境界条件の下でこの仕様が作成された。
- ウェーハ間のピッチを小さくするとウェーハ輸送コストが低減される。
- FOBITは，処理済および未処理の両方のウェーハの工場間輸送に使用される。
- ボックスの容量はウェーハ25枚である。
- エッジグリップハンドリングデバイスを使用したウェーハへのランダムアクセスは，本スタンダードの要求事項ではない。
- FOBITは，次の300 mmのスタンダードと互換性がある。
- 13枚ウェーハのFIMSインタフェース （SEMI E62）
- 300 mmロードポート （SEMI E15.1）
- キネマティックカプリング（SEMI E57）
- FOBITは，輸送中のウェーハの制約条件および製品のアプリケーションにより，必ずしも次の300 mmスタンダードに従う必要はない。
- 300 mmフロントオープニングユニファイドポッド（FOUP） （SEMI E47.1）
- 300 mmオープンカセット （SEMI E1.9）
- 300 mmフロントオープニングシッピングボックス（FOSB） （SEMI M31）
- 本スタンダードの技術的要求事項は，SEMI M1.15で規定される公称厚さのウェーハの輸送について記述された。
この狭ピッチの容量25枚のFOBITは，SEMI E62で規定されている13枚ウェーハのFIMSインタフェースで使用されるように設計される。
Referenced SEMI Standards
SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E47.1 — Mechanical Specification for Boxes and Pods Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E57 — Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers
SEMI E62 — Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)
SEMI M1 — Specification for Polished Single Crystal Silicon Wafers
SEMI M31 — Mechanical Specification for Front-Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 300 mm Wafers
SEMI S8 — Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
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