SEMI E120 - 共通装置モデル(CEM)の仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年12月16日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年2月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年3月発行,前版は2008年11月に発行された。

 

本仕様の目的は,半導体製造装置の構成および関連要素の汎用のオブジェクトモデルを提供することである。このオブジェクトモデルは,次の方法で使用されることを意図したものである。

  • 装置の外部ビューを工場ホストにどのように見せるかを示す装置サプライヤへのガイドとして

  • 他のSEMI装置通信スタンダードが使用し,拡張する際の基本的なモデルとして

  • XMLスキーマ等,技術に特徴的なオブジェクトモデルを明確に作成する際の参照先として

 

本仕様は,装置メーカーが装置構成および関連要素をモデル化する際に使用される構造に共通なものの一揃えを提供する。

 

本仕様は,利用可能な通信インタフェースを介して工場ホストアプリケーションが見る際の装置構造のモデルに適したクラス,属性,関係,その他の詳細事項を定義する。

 

本仕様に含まれるモデルは装置の構造の特性を表すが,(現在および将来に渡って)複数の装置通信スタンダードに必要になると考えられる。

 

Subordinate Documents:

SEMI E120.1-0310 - 共通装置モデル(CEM)のためのXML スキーマ

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E121 — Guide for Style & Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications

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