E12200 - SEMI E122 - テスト装置の特定装置モデル(TSEM)のスタンダード

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,Global Information and Control Committeeで技術的に承認されたもので,North American Information and Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は,2002年11月22日North American Regional Standards Committeeにて承認されている。2003年1月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2003年3月発行に至る。

注意: SEMI E122は2003年7月にサブドキュメントSEMIE122.1が出版されたため改訂年月が更新された。

注意: 本文書は2003年3月版(0303)にて削除されたSEMI E30.3を置き換えたものである。

本文書では,テスト装置の特定装置モデル(TSEM)を確立する。TSEMは,このクラスの装置に適用される装置特性および挙動から構成される。これらの特性と挙動は実装される必要がある。本文書の目的は,テスト装置を自動化された半導体工場に統合し易くすることである。本文書は,ファクトリオートメーションコントローラの観点から見たテスト装置の動作モデルを定義することによって,その目的を達成している。この定義は,スタンダードなホストインタフェースおよび装置の動作挙動を提供する。

本文書では,ホスト通信リンクから見た装置のビューを定義するが,装置の内部動作は定義しない。本文書には,このクラスのすべての装置の挙動の基礎としての独自のプロセシング状態モデルが含まれる。

本文書は,プロセシング状態モデル,収集イベント,アラームの文書化,リモートコマンド,変数項目,プロセスプログラム管理の処理の領域で,テスト装置の要求条件および能力を拡張している。

Subordinate Document:

SEMI E122.1-0703 (Reapproved 1109) - テスト特定装置モデル(TSEM)のSECS-II プロトコル仕様

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services

SEMI E37.1 — High-Speed SECS Message Services Single Selected-Session Mode (HSMS-SS)

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