SEMI E123 - ハンドラ装置の特定装置モデル(HSEM)のスタンダード

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年9月4日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2009年10月にwww.semi.orgで,そして2009年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2003年3月発行,前版は2003年7月に発行された。

 

注意: SEMI E123は2003年7月にサブドキュメントSEMIE123.1が出版されたため改訂年月が更新された。

 

本文書では,ハンドリング装置(HSEM)の特定装置モデル(SEM)を確立する。SEMは,このクラスの装置に適用される装置特性および挙動から構成される。本文書の目的は,ハンドリング装置を自動化された(半導体)工場に統合し易くすることである。本文書は,ファクトリオートメーションコントローラの観点から見たハンドリング装置の動作モデルを定義することによって,その目的を達成している。この定義は,スタンダードなホストインタフェースと装置の動作挙動を提供する。

 

本文書の範囲は,ホストから見たハンドリング装置の定義に限定される。装置通信インタフェースから見た装置のビューを定義する。装置の内部動作は定義しない。本文書には,このクラスのすべての装置の挙動の基礎としての独自のプロセシング状態モデルが含まれる。

 

本文書は,プロセシング状態モデル,収集イベント,アラームの文書化,リモートコマンド,変数項目,プロセスプログラム管理の領域で,ハンドラ装置の要求条件および能力を拡張している。

 

Subordinate Document:

SEMI E123.1-0703 (Reapproved 1109) - ハンドラ特定装置モデル(HSEM)のSECS-II プロトコル仕様

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services

SEMI E37.1 — High-Speed SECS Message Services Single Selected-Session Mode (HSMS-SS)

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00