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SEMI E124 - 総合工場効率（OFE）およびその他の工場レベルの生産性測定基準の定義とその計算法についてのガイド -
Abstract
本スタンダードは，Metrics Global Technical Committee.で技術的に承認されている。現版は2012年12月20日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2013年3月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年7月発行。前版は2007年11月発行。
注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。
このガイドは，工場が所期の能力に対して（ある製品ミックスを前提として）実際にどの程度の効率で稼動しているかを表わすための測定基準について述べたものである。これらの測定基準を使用すれば，工場稼動の状況を付加価値を生む生産の観点から継続的に把握することができ，有益な操業上の決定を下すことができる。また，この測定基準は，半導体生産のあらゆるレベルにおいて見られる現在進行中の改善プロセスにも使用することができる。
このガイドにおける測定基準は，すでに稼動中の工場の生産活動を相対的に評価することを目的としたものであり，新工場のデザインまたは手直しにあたっての生産能力分析を目的としたものではない。しかし，これらの測定基準のいくつかは，装置セットの選択や生産計画方針を考える際の工場シミュレーションに使用することもできる。
工場の全体的効率を評価するには，少なくとも3項目についての測定が必要である。すなわち，製造活動，資産活用，そしてコストである。このガイドは，製造活動の評価に重点を置いている。資産活用とコスト（およびその他の経済的要因）については，ここでは扱わない。
このガイドでは，一体となった製造ライン全体（したがって，たとえば，製造ロットがいったん生産ラインを離れ，再び戻ってくるようなことがない）の測定基準について述べる。同じ工場内の複数の製造ラインが同じリソース（原材料取り扱いや製造装置など）を共有しているのでなければ，これらのラインは個別に評価することができる。
Referenced SEMI Standards
SEMI E10 — Specification for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM) and Utilization
SEMI E35 — Guide to Calculate Cost of Ownership (COO) Metrics for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI E58 — Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services
SEMI E79 — Specification for Definition and Measurement of Equipment Productivity
SEMI E116 — Specification for Equipment Performance Tracking
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