SEMI E125 - 装置自己記述（EqSD）の仕様 -

Abstract

本仕様は，装置に存在する参照し得る変数，イベント，例外事象，物理的な装置の構成を示した記述をサプライヤが提供できるようにする方法を説明するものである。ソフトウェアシステムが利用できるこのような情報により，工場の自動システムに装置を統合する過程で手助けするための一具として使用できるものである。

Subordinate Standards (included)
SEMI E125.1-0710 - 装置自己記述（EqSD）のためのSOAPバインディングの仕様

Referenced SEMI Standards (purchase separately)
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concept, Behavior, and Services
SEMI E120 — Specification for the Common Equipment Model (CEM)
SEMI E120.1 — XML Schema for the Common Equipment Model
SEMI E121 — Guide for Style & Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications
SEMI E128 — Specification for XML Messaging
SEMI E132.1 — Specification for SOAP Binding of Equipment Client Authentication and Authorization
SEMI E138 — XML Semiconductor Common Components
SEMI E145 — Classification for Measurement Unit Symbols in XML 
 

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