SEMI E125 - 装置自己記述(EqSD)の仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2010430日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は20037月発行,前版は20103月に発行された。

本仕様は,装置に存在する参照し得る変数,イベント,例外事象,物理的な装置の構成を示した記述をサプライヤが提供できるようにする方法を説明するものである。ソフトウェアシステムが利用できるこのような情報により,工場の自動システムに装置を統合する過程で手助けするための一具として使用できるものである。

 

Subordinate Document:

SEMI E125.1-0710 - 装置自己記述(EqSD)のためのSOAPバインディングの仕様

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concept, Behavior, and Services
SEMI E120 — Specification for the Common Equipment Model (CEM)
SEMI E120.1 — XML Schema for the Common Equipment Model
SEMI E121 — Guide for Style & Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications
SEMI E128 — Specification for XML Messaging
SEMI E132.1 — Specification for SOAP Binding of Equipment Client Authentication and Authorization
SEMI E138 — XML Semiconductor Common Components
SEMI E145 — Classification for Measurement Unit Symbols in XML

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00