SEMI E126 - 装置品質情報パラメータ(EQIP)に関する仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年5月13日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年6月にwww.semi.orgで。初版は2003年7月発行,前版は2008年3月に発行された。

 

本スタンダードでは,装置プロセスのタイプやグループに関する主要な装置品質情報パラメータ (EQIP) を抽出する。抽出の目的は,プロセス制御の能力を装置のユーザやサプライヤが指定したり,利用し易いように支援することにある。

 

本スタンダードは,新たな装置プロセスのタイプや本スタンダードの既存の装置プロセスのタイプでEQIPが発見される度に,更新可能な様に設計されている。

 

想定読者

本スタンダードは,プロセスコントロールパラメータを操作する際に,標準化された方法を使用して,規定されたプロセス品質パラメータに関して装置コントロールやプロセスコントロールを実現する必要があるOEM (機器製造者), ユーザ,サードパーティの装置とプロセスのコントロールシステムサプライヤを対象とする。

 

本スタンダードの範囲は,特定の装置プロセスのタイプの主要なEQIPを特定することに限られる。その中ではプロセスプログラムの設定可能なパラメータの中で,ここで言うEQIPに影響するものが最低1つは含まれるリストを装置は示さなければならない。ならびにSEMIスタンダードで許される方法を使用してこれらのパラメータをそれぞれ個別に操作できなければならないことが案内される。本スタンダードは,すべての品質パラメータを特定することは意図しない。完全に装置タイプを指定することも意図していない。

 

本スタンダードは,主要となるEQIPに影響するプロセスプログラムのパラメータを操作する能力を要求するものの,本スタンダードはその操作の実行方法は指定しない。例えば,この操作能力を支援し可能にする通信プロトコルあるいは,装置やホストのモデルは定義しない。この適用範囲は,主要となるEQIPおよびそれらのプロセスプログラムのパラメータへの関係を定義することに限定される。

 

本スタンダードは,追加に関して業界の合意が得られれば,装置タイプに対応するEQIPを既存のものに追加できる構成となっている。さらに,このスタンダードでこれまで記載されていなかった新たな装置についてEQIPを定義することも可能になっている。スタンダードへの追加は,SEMIスタンダードの投票プロセスによって行われる。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E40 — Standard for Processing Management

SEMI E94 — Specification for Control Job Management

SEMI E98 — Provisional Standard for the Object-Based Equipment Model (OBEM)

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00