SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様:概念,挙動,サービス(IMMC)

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2007年12月20日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年2月にwww.semi.orgで,そして2008年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2003年7月発行,前版は2007年11月に発行された。

 

装置組込み計測

装置組込み計測(測定や検査)の目的は,即座に測定データを取得し,プロセス装置と計測装置間の材料の搬送を減らし,スループットの低下を最小限,または皆無にすることによりプロセスモニタリングの機会を増やすことになる装置内部のプロセスモニタリングの便宜を図ることである。また,装置組込み計測では,先進プロセス制御システムはこの測定結果の利用により,短いフィードバック時間の遅れを実現する。

 

装置組込み計測モジュール通信(IMMC)の仕様

IMMC規定の目的は,装置組込み計測モジュールのオブジェクトベースの仕様を示すことである。それと共に,別々のサプライヤによって実装される装置組込み計測モジュールと制御ポート/データポートとの間の標準的なインタフェースもオブジェクトベースで示すことである。このインタフェースにより特定のオブジェクトのプロパティとサービスにアクセスできるようになる。これにより,モジュールをより大きなシステムに組み込む際の労力が低減できる。

 

本スタンダードのもうひとつの目的は,マルチモジュール装置に組み込んだとしても計測モジュールや装置のソフトウェアの変更をしなくても良いような,IMMC準拠の装置組込み計測モジュールのオンラインサービスとインタフェースを一緒にした文書を通じて,必要な分の情報を示すことである。これには計測モジュールのサプライヤに任されているある種の選択事項に関する構成変更を,エンドユーザがユーザインタフェース上で行うことが必要となる可能性がある。

 

本文書の範囲

装置組込み計測モジュール通信の仕様は,大口径基板の処理を前提とした生産装置に組込み可能な様に,測定あるいは検査モジュールが提供する概念,挙動,サービスをカバーする。ただし,小口径基板の製造への適用を制限するものではない。

Subordinate Document:

SEMI E127.1-0308 - 装置組み込み計測モジュール通信のSECS-IIプロトコル仕様(IMMC

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E30.5 — Specification for Metrology Specific Equipment Model (MSEM)
SEMI E32 — Material Movement Management (MMM)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E39.1 — SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS)
SEMI E40 — Standard for Processing Management
SEMI E41 — Exception Management (EM) Standard
SEMI E42 — Recipe Management Standard: Concepts, Behavior, and Message Services
SEMI E53 — Event Reporting
SEMI E58 — Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services
SEMI E90 — Specification for Substrate Tracking
SEMI E90.1 — Provisional Specification for SECS-II Protocol Substrate Tracking
SEMI E98 — Provisional Standard for the Object-Based Equipment Model (OBEM)
SEMI E116 — Provisional Specification for Equipment Performance Tracking
SEMI E120 — Provisional Specification for the Common Equipment Model (CEM)
SEMI E148 — Specification for Time Synchronization and Definition of the Clock Object
SEMI M20 — Specification for Establishing a Wafer Coordinate System

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