E13300 - SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインタフェースの仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は20111224日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20122月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20043月発行。前版は201011月発行。

 

R2R制御(R2R:実処理間制御),フォルトディテクション(FD:障害検出),フォルトクラシフィケーション(FC:障害分類),フォルトプレディクション(FP:障害予測),統計プロセス管理手法(SPC)等のプロセス制御システム(PCS)の統合実装を現状,ならびに将来の工場側で効果的に設置するには,プロセス制御システムのインタフェースを規定することが必要である。これは,(1) 上記の機能間で,(2) 依存関係のある上記以外の工場内のシステム(装置データ収集系を含む)が効果的に相互動作し,データを共有することを可能にするためである。本スタンダードは,将来開発する製品を応用する予定のある装置サプライヤ,半導体製品製造会社,装置を構成するシステムのサプライヤ,制御システムサプライヤが使うことを意図するものである。

 

本スタンダードはPCS性能,機能化グループ,機能化グループのインタフェースを定義することに主眼を置くものである。本スタンダードは,将来的に投票を経て,新たな機能化グループが追加できるように構成されている。本書の構成要素には次のものを含む:

  • 本書のドメインに適切な重要な用語と概念の定義,
  • 本規定の表記法の説明,
  • PCS適用範囲内での主要な機能化グループの特定,
  • 個々の機能化グループに求められる性能の説明(必須と任意),
  • 上記の機能化グループの定義,次のものを含む:
  • インタフェース間をまたいで利用できるデータ。これにはインタフェースデータの説明も含む(入出力共)。本規定の将来の改訂では,継承や集約モデルの形態による詳細データ構造も含まれる。PCSの機能化グループすべてに共通な構造,および個々に特化した構造も同様にモデル化する。
  • サポートするサービスおよびインタフェースの想定される挙動,
  • 準拠程度を確認するテスト方法の説明。

 

特定のフォーマットやプロトコルの実装は,その適用する技術に依存して,本規定のサブドキュメントの「ドット」規定に記述する。想定し得るフォーマットの例としてXMLがある(データ型の定義やメタモデルのスキーマも含まれる)。

 

本スタンダードは,本スタンダードに盛り込まれた情報に加え,正当性検証手続きを明確にする。これは実装対象を決定し,現実の実装が可能な限り早期に出るように取り掛かるためである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E81 — Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture
SEMI E121 — Guide for Style and Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications
SEMI E125 — Specification for Equipment Self Description (ESD)
SEMI E134 — Specification for Data Collection Management

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