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SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインタフェースの仕様 -
Abstract
本スタンダードは，global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年2月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2004年3月発行。前版は2010年11月発行。
R2R制御（R2R：実処理間制御），フォルトディテクション（FD：障害検出），フォルトクラシフィケーション（FC：障害分類），フォルトプレディクション（FP：障害予測），統計プロセス管理手法（SPC）等のプロセス制御システム（PCS）の統合実装を現状，ならびに将来の工場側で効果的に設置するには，プロセス制御システムのインタフェースを規定することが必要である。これは，(1) 上記の機能間で，(2) 依存関係のある上記以外の工場内のシステム（装置データ収集系を含む）が効果的に相互動作し，データを共有することを可能にするためである。本スタンダードは，将来開発する製品を応用する予定のある装置サプライヤ，半導体製品製造会社，装置を構成するシステムのサプライヤ，制御システムサプライヤが使うことを意図するものである。
本スタンダードはPCS性能，機能化グループ，機能化グループのインタフェースを定義することに主眼を置くものである。本スタンダードは，将来的に投票を経て，新たな機能化グループが追加できるように構成されている。本書の構成要素には次のものを含む：
- 本書のドメインに適切な重要な用語と概念の定義，
- 本規定の表記法の説明，
- PCS適用範囲内での主要な機能化グループの特定，
- 個々の機能化グループに求められる性能の説明（必須と任意），
- 上記の機能化グループの定義，次のものを含む:
- インタフェース間をまたいで利用できるデータ。これにはインタフェースデータの説明も含む（入出力共）。本規定の将来の改訂では，継承や集約モデルの形態による詳細データ構造も含まれる。PCSの機能化グループすべてに共通な構造，および個々に特化した構造も同様にモデル化する。
- サポートするサービスおよびインタフェースの想定される挙動，
- 準拠程度を確認するテスト方法の説明。
特定のフォーマットやプロトコルの実装は，その適用する技術に依存して，本規定のサブドキュメントの｢ドット｣規定に記述する。想定し得るフォーマットの例としてXMLがある（データ型の定義やメタモデルのスキーマも含まれる）。
本スタンダードは，本スタンダードに盛り込まれた情報に加え，正当性検証手続きを明確にする。これは実装対象を決定し，現実の実装が可能な限り早期に出るように取り掛かるためである。
Referenced SEMI Standards
SEMI E81 — Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture
SEMI E121 — Guide for Style and Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications
SEMI E125 — Specification for Equipment Self Description (ESD)
SEMI E134 — Specification for Data Collection Management
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