SEMI E134 - データ収集管理の仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2010430日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は20047月発行,前版は20103月に発行された。

 

本仕様では,装置によって自動化された方法あるいは消費者によって特に要求された方法により,データ取得消費者がプロセスデータや操作データを装置と通信する方法について説明する。それには,関連データをグループに整理することにより多数のデータソースをより直接的に有効にしたり,無効にして,消費者がその目的に従って関連データをグループに整理できるための仕組みが含まれる。

 

Subordinate Document:

SEMI E134.1-0710 - データ収集管理(DCM)のSOAPバインディングに関する仕様

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E40 — Standard for Processing Management
SEMI E94 — Specification for Control Job Management
SEMI E120.1 — XML Schema for the Common Equipment Model
SEMI E121 — Guide for Style & Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications
SEMI E125 — Specification for Equipment Self Description (EqSD)
SEMI E125.1 — Specification for SOAP Implementation of Equipment Self Description
SEMI E128 – Specification for XML Messaging
SEMI E132.1 — Specification for SOAP Implementation of Equipment Client Authentication and Authorization
SEMI E138 — XML Semiconductor Common Components

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00