SEMI E134 - 데이터 수집 관리 사양

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

표준은 Information & Control Global Technical Committee 에서 기술 검증되었으며, 버전은 global Audits and Reviews Subcommittee 의해 2013 6 4 간행이 승인되었다. 2013 4 이후 www.semiviews.org www.semi.org에서 열람 가능하다; 2004 7 초본 간행; 2013 3 이전 버전 간행.

 

표준은 데이터 수집을 목적으로 사용자의 ad-hoc요청으로 이루어지는 통신이나, 장비에서 자동화된 방식으로 통신이 이루어질 장비로부터 프로세스 운용 데이터를 요청하는 메소드(method)설명한다. 또한 대용량의 데이터 소스(data source) 활성화(enabling) 또는 활성화(disabling)하는 방식을 보다 단순화하기 위해 관련된 데이터를 그룹화 하는 메커니즘과, consumer 각각의 목적에 따라 관련된 데이터를 그룹화 하는 메커니즘을 포함한다.

표준은 특정 데이터 수집 계획을 이용하여 반도체 장비로부터 이벤트(event), 예외사항(exception) 트레이스 데이터(Trace Data)취득하는 수단을 제공한다. 또한 데이터 수집 계획이 어떠한 형태를 가지는지, 내용이 가지는 의미와 장비에서 지원하는 데이터가 어떤 인터페이스로 관리되는지를 정의한다.

 

표준은 한정된 상태 머신에서의 데이터 수집 계획에 대한 실행과 연관된 동작(behavior) 정의한다. 데이터 수집 계획의 결과로 생성된 데이터의 포맷 또한 데이터 수집 계획 출력 값을 이용할 지원되는 인터페이스 형태로 정의된다.

 

표준은 데이터 수집을 포함하여 장비상의 일련의 활동(activities) 장비 제조사가 정의한 기준 이하로 작업이 수행될 경우 이를 consumer에게 알리는 방법을 정의한다.

 

표준은 데이터 수집 계획과는 별개로 장비에서 간헐적으로 이루어지는 데이터 요청에 대한 방법도 정의한다.

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E40 — Standard for Processing Management
SEMI E94 — Specification for Control Job Management
SEMI E120.1 — XML Schema for the Common Equipment Model
SEMI E121 — Guide for Style & Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications
SEMI E125 — Specification for Equipment Self Description (EqSD)
SEMI E125.1 — Specification for SOAP Implementation of Equipment Self Description
SEMI E128 — Specification for XML Messaging
SEMI E132.1 — Specification for SOAP Implementation of Equipment Client Authentication and Authorization
SEMI E138 — XML Semiconductor Common Components

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