SEMI E134 - 데이터 수집 관리 사양 -
Abstract
본 표준은 Information & Control Global Technical Committee 에서 기술 검증되었으며, 본 버전은 global Audits and Reviews Subcommittee 에 의해 2013년 6월 4일 간행이 승인되었다. 2013년 4월 이후 www.semiviews.org와 www.semi.org에서 열람 가능하다; 2004년 7월 초본 간행; 2013년 3월 이전 버전 간행.
본 표준은 데이터 수집을 목적으로 사용자의 ad-hoc요청으로 이루어지는 통신이나, 장비에서 자동화된 방식으로 통신이 이루어질 장비로부터 프로세스 및 운용 데이터를 요청하는 메소드(method)를 설명한다. 또한 대용량의 데이터 소스(data source)를 활성화(enabling) 또는 비 활성화(disabling)하는 방식을 보다 단순화하기 위해 관련된 데이터를 그룹화 하는 메커니즘과, consumer가 각각의 목적에 따라 관련된 데이터를 그룹화 하는 메커니즘을 포함한다.
본 표준은 특정 데이터 수집 계획을 이용하여 반도체 장비로부터 이벤트(event), 예외사항(exception) 및 트레이스 데이터(Trace Data)를 취득하는 수단을 제공한다. 또한 데이터 수집 계획이 어떠한 형태를 가지는지, 그 내용이 가지는 의미와 장비에서 지원하는 데이터가 어떤 인터페이스로 관리되는지를 정의한다.
본 표준은 한정된 상태 머신에서의 데이터 수집 계획에 대한 실행과 연관된 동작(behavior)을 정의한다. 데이터 수집 계획의 결과로 생성된 데이터의 포맷 또한 데이터 수집 계획 출력 값을 이용할 때 지원되는 인터페이스 형태로 정의된다.
본 표준은 데이터 수집을 포함하여 장비상의 일련의 활동(activities)이 장비 제조사가 정의한 기준 이하로 작업이 수행될 경우 이를 consumer에게 알리는 방법을 정의한다.
본 표준은 데이터 수집 계획과는 별개로 장비에서 간헐적으로 이루어지는 데이터 요청에 대한 방법도 정의한다.
Referenced SEMI Standards
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E40 — Standard for Processing Management
SEMI E94 — Specification for Control Job Management
SEMI E120.1 — XML Schema for the Common Equipment Model
SEMI E121 — Guide for Style & Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications
SEMI E125 — Specification for Equipment Self Description (EqSD)
SEMI E125.1 — Specification for SOAP Implementation of Equipment Self Description
SEMI E128 — Specification for XML Messaging
SEMI E132.1 — Specification for SOAP Implementation of Equipment Client Authentication and Authorization
SEMI E138 — XML Semiconductor Common Components
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