SEMI E138 - 半導体生産系で共通に使われる情報の構成要素のXML表現

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

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免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,Global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年5月13日global Audits and Reviews Subcommitteeにて承認された。2009年6月にwww.semi.orgで。初版は2005年発行,前版は2009年3月に発行された。

 

本文書は共通に使われるXMLのエレメントの規定の中核に位置付けられるものであり,ある1つのスタンダードに特化したものではなく,数々のスタンダードを横断的に共通に使われるものである。

 

本文書は,共通の構成要素と考えられるError,Data Type,Date Value TypeとUnitの表現を定義するものである。これらの共通構成要素は,他のXML文書あるいはSEMIスタンダードインターフェース仕様の一部として生成されたスキーマと関連して使用される。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)

SEMI E121 — Guide for Style & Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications

SEMI E125 — Specification for Equipment Self Description (EqSD)

SEMI E132 — Specification for Equipment Client Authentication and Authorization

SEMI E134 — Specification for Data Collection Management

SEMI E145 — Classification for Measurement Unit Symbols in XML

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