SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定(RaP)

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは, global Information & Control Committee で技術的に承認されている。現版は年月日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。年月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は年月発行,前版は年月に発行された。 >

 

注意: SEMI E139は,SEMI E139.3の改訂を反映して,の出版サイクルで更新された。

 

本規定の目的は工場内情報管理系(Factory Information & Control System: FICS )と装置間の協調動作を規定するものであり,この協調動作は装置に於けるプロセス実行に関する仕様(例えば装置のレシピ)を管理するために行われるものである。

本目的の達成のため備える必要のある,主たる要素が6つある:

  • 装置上,ならびに装置外部でのレシピの管理
  • 装置内,ならびにFICS レベルでの分割レシピの管理機能の装備。統合用の同管理アプリケーションの要求が無くとも備えなければならない。

  • レシピの完全管理ある装置においてプロセスの実行方法を定めるレシピはFICS 内で使われることを意図したレシピと同等であることの保障。

  • プロセスの完全管理装置の使用に際して変えることが可能で,プロセスの結果に影響を与えるような,装置の構成にかかわる量値/設定がプロセスジョブの使い方のなかでホストが管理できること。

  • 調整用パラメータの定義
  • 他のSEMIスタンダード(例,SEMI E40)で利用され,すべての装置の間で一貫した方法で,パラメータの調整ができるようにしたレシピのパラメータの定義。

  • 装置上,ならびに装置外部でのレシピの作成と編集 — FICS とレシピを作成/編集する機能を備えるシステム間での,一貫したやり取りのプロトコルの定義。

  • 情報のアクセス能力レシピに関しする重要な情報がFICS から覗けるようにすること。

 

上記目的の達成方法に関する議論は§7を参照のこと。総括については¶7.13 に掲載する。

 

Subordinate Documents:

SEMI E139.1-0310 — XML Schema for the RaP PDE

SEMI E139.2-1108 — SECS-II Protocol for Recipe and Parameter Management (RaP)

SEMI E139.3-1211 — XML/SOAP Binding for Recipe and Parameter Management

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E4 — SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)

SEMI E5 — SEMI Equipment Communication Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services

SEMI E40 — Standard for Processing Management

SEMI E120 — Specification for the Common Equipment Module (CEM)

SEMI E121 — Guide for Style & Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications

SEMI E139 — Recipe and Parameter Management (RaP)

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