E13900 - SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定（RaP）

SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定（RaP） -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI E139-1211 - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは, global Information & Control Committee で技術的に承認されている。現版は年月日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。年月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は年月発行，前版は年月に発行された。 >

注意： SEMI E139は，SEMI E139.3の改訂を反映して，の出版サイクルで更新された。

本規定の目的は工場内情報管理系（Factory Information & Control System: FICS ）と装置間の協調動作を規定するものであり，この協調動作は装置に於けるプロセス実行に関する仕様（例えば装置のレシピ）を管理するために行われるものである。

本目的の達成のため備える必要のある，主たる要素が6つある:

  • 装置上，ならびに装置外部でのレシピの管理

    •  —装置内，ならびにFICS レベルでの分割レシピの管理機能の装備。統合用の同管理アプリケーションの要求が無くとも備えなければならない。

  • レシピの完全管理 —ある装置においてプロセスの実行方法を定めるレシピはFICS 内で使われることを意図したレシピと同等であることの保障。

  • プロセスの完全管理 —装置の使用に際して変えることが可能で，プロセスの結果に影響を与えるような，装置の構成にかかわる量値／設定がプロセスジョブの使い方のなかでホストが管理できること。

  • 調整用パラメータの定義
    •  — 他のSEMIスタンダード（例，SEMI E40）で利用され，すべての装置の間で一貫した方法で，パラメータの調整ができるようにしたレシピのパラメータの定義。

  • 装置上，ならびに装置外部でのレシピの作成と編集 — FICS とレシピを作成／編集する機能を備えるシステム間での，一貫したやり取りのプロトコルの定義。

  • 情報のアクセス能力 —レシピに関しする重要な情報がFICS から覗けるようにすること。

上記目的の達成方法に関する議論は§7を参照のこと。総括については¶7.13 に掲載する。

Subordinate Documents:

SEMI E139.1-0310 — XML Schema for the RaP PDE

SEMI E139.2-1108 — SECS-II Protocol for Recipe and Parameter Management (RaP)

SEMI E139.3-1211 — XML/SOAP Binding for Recipe and Parameter Management

Referenced SEMI Standards

SEMI E4 — SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)

SEMI E5 — SEMI Equipment Communication Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services

SEMI E40 — Standard for Processing Management

SEMI E120 — Specification for the Common Equipment Module (CEM)

SEMI E121 — Guide for Style & Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications

SEMI E139 — Recipe and Parameter Management (RaP)

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