SEMI E142 - 基板マッピングの仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommittee2006516日に発行が承認された。20066月にwww.semi.orgで,そして20067月にCD-ROMで入手可能となる。初版は20053月発行。前版は20063月発行。

注意:SEMI E142.1, SEMI E142.2, およびSEMI E142.3の改訂を反映して,0211の出版サイクルにて,SEMI E142の出版年月が改訂された。

 

ウェーハ,フレーム,ストリップ(短冊状下地),トレーなどの基板のマップデータを報告,保存,伝送する際に必要なデータ項目を本書は定義するものである。

Subordinate Documents:

SEMI E142.1 -0211 — 基板マッピング用のXMLスキーマ  

SEMI E142.2-0211 — 基板マッピング用SECS IIプロトコル

SEMI E142.3-0211 — 基板マッピング向けWebサービス

 

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E30 — Generic Model for Communication and Control of Manufacturing Equipment (GEM) – Event Data Collection and Dynamic Event Report Configuration
SEMI E39 — Object Services Standard; Concept, Behavior and Services
SEMI E39.1 — SECS II Protocol for Object Services Standard (OSS)
SEMI E40 — Standard for Processing Management
SEMI E90 — Specification for Substrate Tracking

SEMI E121 — Guide for Style and Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications


Related Products
Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00