SEMI E145 - XMLにおける測定単位記号に関する分類

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information and Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2011912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201111月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は20063月発行。

 

現在のSEMIスタンダードに拡張可能マークアップ言語(XML)表記法を含めることは,XML技術に対する関心が業界で高まっていることを反映している。本スタンダードでは,SEMI E5SEMI E6,および国際単位系(SI)で定義された単位に基づき,半導体産業のためにXMLによる測定単位の記号表記を定義する。その目的は,半導体産業に共通単位を表す一連の標準記号を規定し,共通規則を用いた標準手法に基づいて他の記号を追加するための仕組みを示すことである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)


SEMI E6 — Guide for Equipment Semiconductor Installation Documentation


SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)


SEMI E121 — Guide for Style and Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications



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