SEMI E147 - 装置データ取得(EDA)のためのガイド -

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Non-Member Price: $203.00

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI E147-0307E - Inactive



本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年11月21日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年2月にwww.semi.orgで,そして2007年3月にCD-ROMで入手可能となる。

E 本文書は2007年9月に,誤字を訂正するため,編集上の修正がなされた。変更箇所は,§6である。








  • EDAインターフェイスの概要
  • EDAインターフェイスを形成するスタンダードの概要
  • EDAインターフェイススタンダード間の関係
  • EDAスタンダードの統合,実装についてのガイド





Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services

SEMI E40 — Standard for Processing Management

SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)

SEMI E90 — Specification for Substrate Tracking

SEMI E94 — Specification for Control Job Management

SEMI E116 — Specification for Equipment Performance Tracking (EPT)

SEMI E120 — Specification for the Common Equipment Model (CEM)

SEMI E125 — Specification for Equipment Self Description (EqSD)

SEMI E132 — Specification for Equipment Client Authentication and Authorization

SEMI E134 — Specification for Data Collection Management (DCM)

SEMI E138 — XML Semiconductor Common Components

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