E15300 - SEMI E153 - AMHS SEMの仕様(AMHS SEM)

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年1月20日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年2月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2009年11月に発行された。

 

本スタンダードはAMHSの個別装置モデル(SEM)を確立するものである(AMHS SEM)。モデルは装置特性および動作で構成されており,それらはSEMI E30の基本要求および追加選択性能と共に実装される予定である。本スタンダードの趣旨は自動化された(半導体製造など)工場へのAMHS SEM準拠の搬送装置の統合を容易にすることである。本文書では工場自動化コントローラ(ホスト)から見たAMHS SEM準拠の搬送装置の運用モデルを定義して趣旨を実現している。ここでは標準化されたホストインタフェースおよび搬送装置の運用動作(コントロール,状態モデル,データ報告,報告レベルなど)が定義されている。本スタンダードの範疇の課題のいくつかに関しては今後も活動を続ける必要がある。その課題とはトラフィック管理特性(キューイング),キャリア移載のためのパラレルインタフェース(SEMI E84),搬送保管システムコントローラアーキテクチャ,および搬送単位の配送などである。

 

本スタンダードの範囲は(§ 11に規定してある)GEMモデルに準拠するSEMI装置通信スタンダード2(SECS-II)によってホストが認識する,搬送または保管または搬送と保管の両方の組合せをサポートする材料搬送保管装置の使用法および説明に限定されている。本スタンダードはSECS通信リンクを通じて装置がどのように見えるかを定義しているが,装置の内部オペレーションは定義していない。ここにはこのクラスの装置すべての基準として個別TRANSFERコマンド状態モデルおよび搬送保管システムコントローラ(TSSC)状態モデルが含まれている。

 

本文書では(§11に規定されている)GEM基本要求および追加選択性能はAMHS SEM準拠の搬送装置にすでに実装されているものとみなす。ここでは状態モデル(TSSC,TRANSFERコマンド,台車およびキャリア状態モデル),収集イベント,アラームドキュメント,リモートコマンド,変数データアイテム,および材料搬送の領域でGEMスタンダード要求および性能が拡張されている。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services

SEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface

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