SEMI E154 - 450 mmロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

本仕様の目的は,450 mm用 FOUPおよび450 mm用 MACのロードおよびアンロードを行う半導体製造装置 (SME) におけるロードポートの基本的な寸法のインタフェースを定義することである。 本書の意図は,革新的なソリューションを限定することなくロードポートとキャリアの相互運用性を確保するための一連の要求および機能を定義するものである。

本書のインタフェース仕様は,関連する450 mm FOUPおよび450 mm MACのSEMIスタンダードに準拠するキャリアによって決定され,また,キャリアに適合するように作成されている。

ロードおよびアンロードは,何らかのシステムまたは装置(人が運転する搬送車または高架ホイスト車など)を使って半自動および自動モードで行われることを想定している。

Referenced SEMI Standards

SEMI E63 — Specification for 300 mm Box Opener/Loader to Tool Standard (BOLTS-M) Interface
SEMI E110 — Guideline for Indicator Placement Zone and Switch Placement Volume of Load Port Operation Interface for 300 mm Load Ports
SEMI E158 — Mechanical Specification for Fab Wafer Carrier Used to Transport and Store 450 mm Wafers (450 FOUP) and Kinematic Coupling

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