SEMI E156 - 搬送インタフェースに対する450 mm AMHSストッカーの機械的仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は2010430日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。

本仕様は,450 FOUPストッカーのロードポートに対する寸法上の要求事項を定義する。本書の目的は,さまざまなタイプの搬送装置およびストッカーの間の物理的インタフェースを定義する必須の形状と寸法を提供し,工場内での材料取り扱い上のさまざまな要求事項に適合するためにさまざまな自動搬送システムを簡単に使用できるようにすることである。これは,ストッカーと搬送システムの両方が適合しなければならないインタフェースの4つのオプションを定義することで実現する。定義されているオプションは以下のとおりである。

· オプションA: 能動搬送(能動OHSなど)で内部ストッカーのロードポートに水平にFOUPを移載する。1にオプションAを示す。

· オプションB: 能動搬送(OHTなど)で,外部ストッカーのロードポートとの間で垂直にFOUPをピック(掬う)またはプレイス(卸す)する。オプションBの概念図を図2に示す。

注:オプションBの寸法の要求事項は,SEMI E154でカバーしている。

· オプションC: 受動搬送(受動OHS,コンベヤなど)で,ストッカーのポート位置との間でFOUPを搬送する。FOUPドアはストッカーに平行である。3にオプションCを示す。

· オプションD: 受動搬送(コンベヤなど)で,内部ストッカーのポート位置との間でFOUPを搬送する。FOUPドアはストッカーに平行である。4にオプションDを示す。

Referenced SEMI Standards

SEMI E154 — Mechanical Interface Specification for 450 mm Load Port
SEMI E158 — Mechanical Specification for Fab Wafer Carrier Used to Transport and Store 450 mm Wafers (450 FOUP) and Kinematic Coupling

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