SEMI E157 - モジュールプロセストラッキングの仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は20101221日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20112月に www.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20106月発行。

 

本仕様の目的は,プロセス関連データを工場システムに報告する標準の装置機能を定義することである。本仕様は主に,レシピの実行に関連したプロセスロケーション(プロセスモジュール)のアクティビティを対象としている。

 

今日の半導体工場において,レシピ実行時のプロセスデータの収集は重要である。これにより,装置プロセス,完成品の品質,歩留まり,および工場の全般的なパフォーマンスの最適化に役立つさまざまなアプリケーションをサポートできる。

このプロセスデータの報告機能により,工場のアプリケーションは,抽出した時系列データ(トレース)およびサマリープロセスデータを関連するコンテキストデータに結び付けることができる。本Standardで規定されるプロセスモジュールのレシピ実行を記述するイベントによって,このようなコンテキスト情報が利用可能であることを保証する。コンテキストデータには,プロセス・ジョブ,装置レシピ,処理基板の識別子などの項目が含まれる。この報告機能では,処理の開始/終了レコードが,レシピステップレベルの粒度で提供される。

 

これらのイベントの報告は,プロセスモジュール固有のデータパラメータを報告するために,プロセスモジュールごとに行う必要がある。これらのプロセスモジュールは,一般に,それぞれ異なるコンテキストやプロセスのデータパラメータ値を持つ。一つのイベントがすべてのプロセスチャンバに適用されるような一般イベントでは,そのイベントレポートが発生したプロセスモジュールに関係なく同じデータが報告される。このような一般イベントでは,それぞれのプロセスモジュールで得られるユニークなデータパラメータの取得に必要とされる,プロセスモジュール固有のデータセットは報告されない。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E40 — Standard for Processing Management
SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)
SEMI E90 — Specification for Substrate Tracking
SEMI E120 — Specification for the Common Equipment Model (CEM)
SEMI E125 — Specification for Equipment Self-Description (EqSD)
SEMI E134 — Specification for Data Collection Management (DCM)
SEMI E139 — Recipe and Parameter Management (RaP)

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00