SEMI E159 - ウェーハの搬送及び,輸送のための多目的キャリア(MAC:Multi Application Carrier)の機械仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

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本スタンダードは,Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は20131223日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20116月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20116月発行,前版は20129月発行。

 

本文書の目的は,半導体デバイス製造設備において,SEMI M74に規定された450 mmウェーハを収納し搬送するために使用するキャリアの基本的な物理的寸法を規定することである。

 

本文書は,キャリア寸法の基準面およびキャリアと相互動作するロードポート形状を定義することを意図している。

 

本文書は,革新的なソリューションに対する制約を設けることなくロードポートとキャリアの相互運用性を確保するための一連の要求を定義することを意図している。

 

本スタンダードは,450 MACが主にシリコンウェーハ製造中或はデバイス製造済みウェーハの保管と輸送中,ウェーハの品質を維持或したり,キャリアの自動化対応のために使用されるものである想定している。ウェーハは,MACからFOUPFOUPからMACへ自動的な手段により移送されることを推奨する。

 

本文書は,450mmキャリアの外形と寸法を定めている。

 

本文書は,450mmキャリア内のウェーハの支持と保持のための排除領域を定めている。

 

本文書は450 mmキャリアを支持し配置するKCPの重要な寸法と位置を規定する。

 

本文書は3つの直交する基準面をキャリア寸法の基準として定義する。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E30.1 — Inspection and Review Specific Equipment Model (ISEM)
SEMI E144 — Provisional Specification for RF Air Interface Between RFID Tags in Carriers and RFID Reader in Semiconductor Production and Material Handling Equipment
SEMI E154 — Mechanical Interface Specification for 450mm Load Port
SEMI M74 — Specification for 450mm Diameter Mechanical Handling Polished Wafers

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