E16200 - SEMI E162 - 450 mmフロントオープニング・シッピングボックス・ロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は2010827日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201111月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は,201111月発行。




本書のインタフェース仕様は,関連するSEMI450mm FOSBスタンダードに準拠するキャリアによって決定され,また,キャリアに適合するように作成されている。




Referenced SEMI Standards

SEMI E154 Mechanical Interface Specification for 450 mm Load Port
SEMI M80 — Mechanical Specification for Front-Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 450 mm Wafers

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