SEMI E162 - 450 mmフロントオープニング・シッピングボックス・ロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は2010827日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201111月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は,201111月発行。

 

本仕様の目的は,450mm用フロントオープニング・シッピングボックス(FOSB)のロードおよびアンロードを行う半導体製造装置におけるロードポートの基本的な寸法のインタフェースを定義することである。本書の意図は,革新的なソリューションを限定することなくロードポートとキャリアの相互運用性を確保するための一連の要求および機能を定義するものである。

 

本書のインタフェース仕様は,関連するSEMI450mm FOSBスタンダードに準拠するキャリアによって決定され,また,キャリアに適合するように作成されている。

 

ロードおよびアンロードは,何らかのシステムまたは装置(人が運転する搬送車または高架ホイスト車など)を使って半自動および自動モードで行なわれることを想定している。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E154 Mechanical Interface Specification for 450 mm Load Port
SEMI M80 — Mechanical Specification for Front-Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 450 mm Wafers

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