SEMI F4 - 空気圧動作シリンダバルブの仕様

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本仕様は,Global Facilities Committeeで技術的に承認されたもので,North American Facilites Committeeが直接責任を負うものである。現版は2000828日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認された。20009月にまずSEMI On Lineで入手可能になり,200010月発行に至る。初版は1990年発行,前版は20002月発行。

 

本仕様は,半導体の製造に使用される空気圧動作シリンダバルブに対する最低限の設計及び性能の要求条件を確立する。本仕様は,更にこれらのバルブを調達する際の手引きとなるよう意図されている。

 

本仕様は,半導体製造設備及びこれに対応する研究及び開発のエリアで使用される,ガスを含む空気圧動作シリンダバルブに適用される。

 

本仕様は,その使用に関連した全ての安全問題を取り扱うことを意図していない。この仕様の使用者は,その責任において,適切な安全及び健康上の作業方法を確立し,また使用前に規制上の制限への適用性を判断するものである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components

SEMI F19 — Specification for the Finish of the Wetted Surfaces of Electropolished 316L Stainless Steel Components

SEMI F20 — Specification for 316L Stainless Steel Bar, Extruded Shapes, Plate and Investment Castings for Components Used in High Purity Semiconductor Manufacturing Applications

SEMI F32 Test Method for Determination of Flow Coefficient for High Purity Shutoff Valves

SEMI S5 — Safety Guideline for Flow Limiting Devices

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00