SEMI F5 - ガス状廃棄物処理のガイドライン

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本ガイドは,Global Environmental Health and Safety Committeeで技術的に承認されたもので,North American Environmental Health & Safety Committeeが直接責任を負うものである。現版は,2001年8月27日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認されている。2001年9月にまずwww.semi.orgで入手可能,2001年11月発行に至る。初版は1990年発行。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

注意:本文書は,投票に付された通り,SEMI F5-90の全体と置き換えることを目的としている。

注意:"注"と記した段落は,このガイドの正式部分ではなく,公式ガイドを修正または置き換えることを意図していない。これらは,タスクフォースが本ガイドの使用を一層充実させるために提供したものである。

 

このガイドラインの目的は,排気システムの原理を理解するための一般的知識及び背景となる情報を半導体業界に提供することである。

 

これには,放出を低減するための適切な方法及び装置だけでなく配置及び選択に対する推奨案も含んでいる。

 

このガイドは,半導体製造設備から放出される可能性のあるガス状及び粒子状汚染物質双方に対する削減方法の選択を行う際に使用されることを意図している。

 

適用 - このガイドラインでは,下記事項を含む入手可能な情報の検討及び評価を行う。

  • 半導体製造作業中に放出が考えられる化学化合物及び元素の化学的及び物理的性質
  • 異なるグループの物質に対する分離排出システムに対する現在の産業界が実施しているやり方
  • 半導体製造作業から排出されるガス状及び粒子状汚染物質の放出を"配管終端"において削減するため考えられる方法
  • 半導体製造工程から排出されるガス状及び粒子状汚染物質の放出を"使用点"で削減するため考えられる方法,及びそれらをある工程に使用すべき理由
  • 汚染物質の放出を最小化するため,回収,置換え及び"使用量削減"の産業界の標準方法

 

Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S5 — Safety Guideline for Flow Limiting Devices
SEMI S8 — Safety Guidelines Equipment for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufactoring Equipment

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00