SEMI F7 - フロロカーボン製チューブフィッティング接合部の引張り強さを測定するテスト方法 -
Abstract
本試験方法は，Facilities Committeeで技術的に承認されたもので，North American Facilities Committeeが直接責任を負うものである。現版は1998年10月North American Regional Standards Committeeにて承認された。1999年2月にまずSEMI On Lineで入手可能になり，1999年2月発行に至る。初版は1992発行。
NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.
この方法は，フロロカーボン材質でできたチューブフィッティング接合部の引張り強さを測定する一定の手順を規定するものである。
この方法は，ここに述べられている条件のもとに作成されたテストデータに基づき，チューブフィッティング接合部の特性を記述するのに使用することができる。
この方法において定義されるチューブは，管状の形をしており，フロロカーボン材質でできている。
この方法において定義されるチューブフィッティングのうち内部の液体と接触する全ての部分は，フロロカーボン材質でできている。
ナット，グリッパー等のような部品は，フロロカーボン材質で作成されなくてもよい。
チューブと評価されているチューブフィッティングの間のシールのみ，本ドキュメントの適用範囲内である。他の全ての装着シールは本ドキュメントの適用範囲外である。
種々のチューブフィッティング間又は製造者間における比較のためにこの方法を使用する場合には，ユーザは評価されるべきチューブ及びチューブフィッティングを明確に選択しなければならない。
本ドキュメントにおける計量の標準単位としては，国際単位系（SI）が使用される。U.S.慣例単位は参考目的のみのために括弧内に併記され，最も近い数値に丸められてきた。
Referenced SEMI Standards
None.
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